本来这篇研究论文,是微纳加工领域里的一个进展,实验室研究,和工业界没啥关系,谁知道题目里的“lighography” 一下子挠到了某些媒体的某点。
“lighography”这个词便是光刻的意思,看到光刻,他们就遐想到光刻机,看到5nm,就遐想到台积电的5nm 芯片制程,结果新闻就开始走样了,成了中科院弯道超车,荷兰ASML吓傻了。
实在这篇文章谈到的紧张是超高精度的无掩模的激光直接刻写,这个和芯片加工那个光刻机说没紧要吧,都是微纳加工的手段。
说有关系吧,光刻机是商业制造芯片,这个激光光刻目前只能在实验室里刻点沟沟道道,写个图案玩,离工业运用还十万八千里。
下面,量子菌就带大家粗略的读读这篇纳米神刊Nano letters的文章。
实在搞纳米的都知道,发在这个NL杂志上,就意味着离实际运用还很远远,我们文章末端都会写,本论文的研究在xxx领域有潜在的运用,有望xxxx。
Nano letters
来到Nano letters的网站上,来看中国科学院苏州纳米所 Nano Letters的这篇研究论文。
题目是:5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography。
从题目上可以看出,他们宣布了一种超高精度激光光刻的加工方法,可以制备最小5nm间隔的纳米狭缝电极和阵列。也便是用激光在基底上可以刻出沟道,处理后可以得到最小间隔5nm的电极。
激光直写
这当然是微纳加工领域的一个进步,对付无掩模刻写来说,激光直写一贯受限于衍射极限,很难做到10 纳米以下的超高精度加工。
激光直写,意思很大略,便是直接用激光照着一行一行的来写图案,以是加工韶光是硬伤啊,而且书写区域也不大。以前的激光直写,适宜加工一些微纳器件,做做机理研究发发文章。
本文宣布的新方法,便是采取了一种双激光束交叠的方法,可通过可掌握激光能量和步长,在钛基底上实现了最小5nm的加工精度。
把稳看下图,便是他们在钛片上用激光刻出了各种宽度的沟道,最窄的5nm。
激光刻蚀出来不同宽度的沟道
以上的原子力显微镜照片看着很清楚,最小的沟沟是5nm宽。但是光刻一些沟道,显得有点呆板。
为了更好的展示他们的激光刻蚀技能,于是作者们又在钛片上刻了一个钟表,便是下图所示。
看到了吧,这便是你们想要的激光光刻机刻出来的钟表,那么5nm在哪里呢?你先找一找,答案在评论区见。
激光直写,给你们画个表。
用激光在钛片画一些沟道,有啥用呢?
答案是:可以在刻蚀等处理之后沉积金属,制造电极,在上面搭个碳纳米管什么的,就可以大略测试光电性子了。下面便是这些沟道经由多重处理后,制备成5nm电极阵列的样子。
刚才提到了,激光直写和光刻机不一样,光刻机即时曝光,面积也很大,12英寸的晶圆。而激光直写要一行一行的写,很花韶光,很难写大面积,一样平常也便是mm量级,以是只能制造一些电极来做research。
但本文除了5nm的精度之外,另一个特点便是速率快。文中宣布,可以在一小时内加工5×10000个纳米狭缝电极。
看起来很多了吧,但和现在光刻机加工出来的芯片比,差的还是太远,一个华为麒麟1020手机芯片,里面就有120亿个晶体管,差距是天文数字。
媒体上科学宣布的原形
看完量子菌的文章解读,你也该知道了吧,这篇文章的激光直写,和光刻机没有什么关系。
文章里用激光在钛基底上画一些道道,可以做一些电极。什么中科院5nm光刻机打破,全是媒体的误读。他们看到5nm,看到光刻,就开始遐想光刻机,不是弯道超车,便是吓呆荷兰阿斯麦。
这才是光刻机
我们当前确实缺少高端光刻机,但业界也在努力追赶,上海微电子 90 nm量产,28 nm开拓中。其他半导体家当也好不断。
但我们不能过度吹捧,媒体每天搞出来一些自嗨的笑话,都吓坏人家论文作者了,官网上文章的宣扬稿都赶紧下线了,这就太魔幻了。
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