林晓玲，工业和信息化部电子第五研究所正高等工程师，她在高端芯片的毛病定位、物理剖析等方面取得一系列国际领先的原创性成果，为探月工程、北斗卫星等重大工程做出关键贡献。她自主研发的倒装芯片背面减薄技能，直接应用于浩瀚的重大工程中，为“嫦娥”卫星和“玉兔”车等设备的可靠运行保驾护航。
多年来，林晓玲团队先后荣获“中国电子信息科技创新团队奖”、全国“五一巾帼斥候岗”、“巾帼文明岗”等名誉。林晓玲个人先后荣获 “广东省三八红旗手”、“广东省五一劳动奖章”、 “全国前辈事情者”等表彰。今年6月，她荣获2022年第一季度“广东年夜大好人”称号。
工业和信息化部电子第五研究所正高等工程师林晓玲。（受访者供图）
一块只有指甲大小的芯片，承载着上百亿个纳米级的晶体管，构建出犹如摩天算夜厦一样平常精密而繁芜的构造，这统统令林晓玲着迷。“切实其实是叹为不雅观止，有时会感到抓狂，这到底是怎么做出来的。”
林晓玲专注芯片可靠性与失落效剖析研究已经18年。累计揭橥SCI/EI论文30余篇，获发明专利授权11件，自主研发失落效剖析干系软件6套并成功推向市场；先后承担及参与国家重大项目、省重点领域研究操持等课题近30项，研究成果荣获“省部级科学技能进步奖一等奖/二等奖”……科研成果丰硕，然而每一次进入实验室，芯片技能发展带来的新工艺、新问题，仍旧使她兴致飞腾地想要一探究竟。
自主研发芯片背面减薄技能
为“嫦娥”卫星运行保驾护航
“我的事情有点像年夜夫，各种电子元器件是检讨诊断的工具，找到电子元器件涌现瑕疵、毛病和故障的部位，然后剖析缘故原由，办理问题，预防和减少器件失落效。”小到家电、汽车，大至飞机、火箭，电子元器件的运用无处不在，这是林晓玲感兴趣的领域，从本科到博士深造，她学习的领域一贯是微电子学与固体电子学专业。进入研究所事情后，芯片质量和可靠性成为她主攻的探索方向。
“芯片是所有电子元器件中集成度最高、繁芜度最大的，以是找出芯片的毛病，难度也是最大的。”林晓玲向描述她眼中的芯片天下。一块芯片上每每集成着上亿乃至上百亿个纳米级的晶体管，晶体管通过多少端口和金属互连线连接，端口之间的间隔只有几到几十纳米，所有互连线叠加起来形成一个十几层的构造，理论上要用上万倍乃至近百万倍的显微镜才能不雅观测清楚。
做芯片毛病定位剖析，就好比在茫茫大海里探求一个晶体管，或者一根线路。为了精准剖析芯片的问题，须要综合运用失落效定位、样品制备、微不雅观剖析，身分剖析、失落效预防等成体系的专业技能方法。
林晓玲和同事在实验室。（受访者供图）
入职不久，林晓玲就碰到了新型倒装芯片的失落效剖析技能难题。要想实现倒装芯片的毛病定位，必须将不到1毫米的芯片研磨到红外光可透过的200微米旁边厚度（注：1毫米=1000微米）。
但又薄又脆的芯片经不起几下打磨，就裂开碎掉了。为理解决这个难题，林晓玲四处查阅文件资料，请教干系领域专家，通过一遍遍摸索，终于把倒装芯片顺利减薄到了最佳厚度，同时保持减薄前后芯片的电性能不变。
芯片减薄的行业标杆在林晓玲团队的集智攻关下不断被刷新，他们自主研发的超大规模倒装封装高精度、微米级芯片精确减薄技能，为“嫦娥”卫星和“玉兔”车的可靠运行保驾护航。
“芯片减薄技能可以把芯片削薄到30—200微米以内，从而在地面抗辐射实验中可以丈量评估出芯片的抗辐射水平，使实验更加准确、可信。”林晓玲向阐明，卫星探测器装载了芯片等大量电子元器件，在太空中会面临太阳粒子、宇宙射线等的辐射，可能会导致卫星涌现数据丢失、功能受损等问题。以是必须在地面对芯片进行抗辐射能力的评估实验，通过施加各种射线在芯片上，记录不雅观测性能的变革，为芯片的抗辐射加固供应实验支撑。
打球中场安歇也可读文献
科学探索之路永无止境
“逐步来，不要急，先确认清楚。”每次接手重大工程开始做实验前，林晓玲都会这样提醒团队成员。“一块一厘米乘一厘米的芯片，根据剖析需求，有时是把厚度减少到1/10去做毛病定位，有时是滴几滴堕落液对芯片进行局部去层处理，这个过程是很紧张的，有时一个倾斜角度不对就会导致失落败，必须慎之又慎。”
高度专注，脚踏实地，是林晓玲对待科研一向的态度。每进行一项技能攻关前，她都要带领团队成员查阅国内外文献理解前沿技能，开会谈论进行头脑风暴，请教同行前辈，末了形成方案。
“无论在哪里，只要我能动脑，就可以一贯思考。”林晓玲喜好各种运动，每次去球场，她都随身带上文献，中场安歇对她来说是绝佳的读文献韶光。晚上或者周末，她吭哧吭哧地皮算完儿子初中的数学难题后，就坐在一旁连续读文献，理解业界动态。
“走路可以想问题，用饭也可以想，坐一两小时的班车通勤时也可以想，每次想到什么及时记下来。有时半夜梦醒，白天困扰的问题溘然有了思路，一定要起床把它写下来，不然睡不着了。”
林晓玲热爱科研奇迹，十年如一日。有时放假轻松了，她反而觉得浑身不对劲。“彷佛有点虚度光阴，还是保持劳碌的状态觉得踏实些。”
林晓玲有集邮的兴趣爱好，邮票和芯片在她眼里很相似，“方寸之间，有很大很丰富的天下。” 芯片技能在不断发展，她认为自己的事情永久是创造问题，办理问题。
涌现新材料、新工艺、新构造，芯片可靠性和失落效剖析技能要同步更新；针对一种构造的技能研发出来后，就该当立时动手其余一种构造的技能研发。“技能储备越多越好，不断探索，为芯片奇迹着力。”她感叹这份奇迹的魅力所在，“这真的很好。”
采写：南都 王瑜玲
