入口电子级钛白粉PT501-元肃化G
在超大规模集成电路芯片中,钛是较为最为常用的阻挡层薄膜材料之一(相 应的导电层薄膜材料为铝)。在先端芯片制造工艺中,钛靶要与钛环件配套利用, 其紧张功用是赞助钛靶完成溅射过程。钛靶实图如下:
溅射靶材钛靶高纯钛白粉501

据此文作者S海元肃化G查阅资料理解,针对电子领域对电子零部件高精度及小型化的哀求,入口钛白粉PT-501是不仅纯度高,而且粒径小的高纯度二氧化钛,具有优胜的反应性(紧缩率)及分散性,广泛用于以电子材料为主的各种领域。高纯度的二氧化钛目前运用范围很广,在化学试剂、医药、食品、扮装品、电子等方面都是主要的化工质料,这些领域常哀求二氧化钛的含量在99%以上。
钛靶生产工艺简图-电子级钛白粉501
知识扩展:什么是溅射靶材?
超大规模集成电路制造过程中要反复用到的溅射(Sputtering)工艺属于物 理气相沉积(PVD)技能的一种,是制备电子薄膜材料的紧张技能之一,它利用离子源产生的离子,在高真空中经由加速聚拢,而形成高速率能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交流,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。
高纯钛白粉pt501-元肃HUAGONG