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一文理解芯片的制造过程:从沙子到芯片_光刻_硅片

南宫静远 2024-10-24 17:05:56 0

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本文讲解的芯片指的是:硅基芯片。

大概的流程:硅石/二氧化硅(SiO₂)→硅锭(Silicon,工业冶炼级 )→硅棒( Slicon rod 多晶硅棒(光伏级)→芯片级单晶硅棒)→硅片→晶圆(Wafer)( Silicon wafer)→芯片

一文理解芯片的制造过程:从沙子到芯片_光刻_硅片 互联网

更详细的工艺参考如图

备注:未切割的单晶硅材料是一种薄型圆片叫晶圆片,是半导体行业的原材料,割后叫硅片,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件

第一步:找品质比较好的硅石(二氧化硅含量比较多的一种矿)

硅石矿

建筑用的沙子,紧张含量也是二氧化硅,但是硅石的含量要更高。

第二步:在硅石中提炼相对高纯度的冶炼级工业硅锭(Silicon)

在石墨矿热炉(石墨电弧电炉)里面,按比例放上硅石、木屑、煤炭等材料,加热至2000度旁边,通过还原反应,提取浓度为98%-99%的冶炼级工业硅。

备注:石墨的熔点为3850±50℃,沸点为4250℃,纵然经超高电弧灼烧,重量的丢失很小,热膨胀系数也很小,是目前最空想的冶炼硅石的设备;

石墨矿热炉提取硅

碳化硅(SiC)是未来第三代半导体中功率元器件的紧张材料,未来可期

纯度98-99%的硅锭

第三步:在冶炼级工业硅锭中一步一步提纯变成芯片级硅棒

西门子法

利用西门子法(1955年发明),把工业硅锭变成多晶硅硅棒

1、把工业级硅锭粉碎成硅粉

2、在325℃高温下,注入氯化氢(HCl),325℃下,硅粉中的硅和氯化氢发生化学反应:Si+3HCI→H₂+SiHCl3,其余硅粉中可能掺杂的铝、铁,这些也会和氯化氢发生化学反应,终极装置里面会有沸点不同的气体:32℃的SiHCl3、315℃的FeCI3、180℃的AlCl3、57℃的SiI4等气体

3、利用装置中的冷凝器和蒸馏塔,把SiHCl3提取出来

4、在1100℃温度下,往SiHCl3,注入氢气,让其发生化学反应

2H₂+4SiHCl3→3Si+8HCI+4SiCl4

这个温度状态下,硅会呈现玄色的固态,会给人有逐步“成长”的过程视觉

多晶硅硅棒

此刻的“硅棒”,含硅量在99.9999%,6个9适宜光伏家当(太阳能板等)

利用“柴可拉斯基法”,又叫直拉法/提拉法,英文名:Czochralski process,波兰科学家,于1916年研究金属的结晶速率时,发明了这种方法。
把多晶硅棒,提取成质地均匀、性能稳定的单硅晶硅棒。

柴可拉斯基法

在石英工业坩埚(石英的熔点为1750℃)里面,放入多晶硅,将温度加热到轻微大于硅的熔点(1410℃),形成液体硅。
先用一根苗条单晶硅作为引点,进入液体硅,按照一定的旋转速率、提拉速率等进行提拉,硅被拉出来后逐步冷凝后形成单晶硅硅棒(12英寸拉1.5米,两头呈锥形,重一样平常在270公斤-300公斤旁边,8英寸一样平常在6米)

12英寸国产单晶硅棒

画黑板:单晶硅硅棒直径越大,切出来的硅片包括后面的晶圆最大,单片上生产的芯片越多,单个芯片的本钱越低

第四步:芯片级单晶硅棒切成薄片→芯片级硅片→芯片级晶圆(纯度为:99.999999999%,也便是11个9,芯片级晶圆是我国芯片制造中卡脖子的开始)

从毛坯房到精装房:硅片→晶圆,晶圆是精加工后的硅片

过程须要经历:滚磨→激光标识→切片→倒角→磨片→堕落→背损伤→边缘镜面抛光→预热洗濯→抵抗稳定,退火→背封→粘片→抛光→检讨前洗濯→外不雅观检讨→金属洗濯→擦片→激光检讨→包装(里面充满氮气)

环球芯片级单晶硅片紧张被以下五个公司垄断(90%+):以2020年为例子。
2020年,环球前五大硅片厂商分别为:日本信越化学,市占27.53%;日本胜高,市占21.51%;环球晶圆,市占14.8%;德国世创,市占11.46%;韩国鲜京矽特隆,市占11.31%。
值得一提的是,在环球晶圆完成对世创的收购后,一跃成为仅次于信越化学的环球第二大半导体硅片厂商。
目前环球芯片级硅片家昔时夜概是120亿美金的市场(2020年),属于高投入,高技能,相对低利润率的家当,海内的厂家紧张是:中环股份、杭州立昂微、上海硅家当集团。

芯片级硅片家当链的设备目前基本为日本企业的精密制造的企业和少数欧美的企业垄断,比如单晶炉、切割机、倒角机……

请把稳:这里说的硅片指的是是芯片级的硅片

硅片

晶圆领域:

从6英寸到8英寸只花了大约6年韶光,而从8英寸到12英寸则用去了近10年韶光,18英寸晶圆一贯仍在路上;8英寸≈200mm;12英寸≈300mm

8英寸,紧张利用于90nm以上制程的芯片,如部分汽车芯片,宇航级芯片,军用芯片;12英寸则紧张利用于45nm及以上的前辈制程的芯片:智能终端为主。

第五步:晶圆→芯片

首先要准备:制作光刻掩膜版(Mask Reticle)光刻掩膜版:(又称光罩,简称掩膜版),是微纳加工技能常用的光刻工艺所利用的图形母版。
由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形构造,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。

浸染:芯片设计师将CPU的功能、构造设计图绘制完毕之后,就可将这张包含了CPU功能模块、电路系统等物理构造的“舆图”绘制在“印刷母板”上,供批量生产了。
这一步骤便是制作光刻掩膜版。

然后开始对晶圆进入光刻阶段了(卡脖子紧张是在光刻机、光刻胶)

1、准备晶圆覆膜(氧化):将准备好的晶圆扔进光刻机光刻之前,一样平常通过高温加热办法使其表面产生氧化膜,如利用二氧化硅(覆化)作为光导纤维,便于后续的光刻流程:

2、往晶圆上涂上光刻胶

“光刻胶(英语:photoresist),亦称为光阻或光阻剂,是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射,其溶解度发生变革的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,紧张运用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。

3、光刻机光刻

光刻机将紫外(或极紫外)光通过镜片,照在前面准备好的集成电路掩膜版上,将设计师绘制好的“电路图”曝光(光刻)在晶圆上

芯片光刻

4、先溶解光刻胶,光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,打消后留下的图案和掩模上的同等再进行蚀刻

5、蚀刻

照射到的光阻须要用显影液消灭

光刻机照射到部分的光阻(光刻胶)会发生相应变革,一样平常利用显影液将曝光部分消灭

被光阻(光刻胶)覆盖部分以外的氧化膜,则须要通过与气体反应消灭

6、离子注入:在真空中,用经由加速的原子、离子照射(注入)固体材料,使被注入的区域形成分外的注入层,改变区域的硅的导电性

7、电镀:在晶圆上电镀一层硫酸铜,将铜离子沉淀到晶体管上。
铜离子会从正极(阳极)走向负极(阴极)。

8、抛光:将多余的铜抛光掉,也便是磨光晶圆表面

9、在完成一层光刻流程之后,把这一阶段制作好的晶圆用绝缘膜覆盖,然后重新涂上光阻(光刻胶),连续开始新一层的光刻……越是前辈制程的芯片,层数越多,有的超过30层。

末了制造出布满芯片的晶圆

10、晶圆测试,内核级别,利用参考电路图案和每一块芯片进行比拟

11、晶圆切片,丢弃瑕疵芯片。

12、封装及再次测试

13、包装,发货

芯片制造流程参考图

小结和补充

1、我们在芯片制造领域存在着多个被“卡脖子”的细分赛道,比如“芯片级硅片”的制造、光刻(光刻机、光刻胶、涂胶显影机、抛光机),从要担保基本需求的角度来看,材料技能最缺,其次是设备。

2、高端技能是买不来的,安全也是买不来的,还是得自己脚踏实地撸起袖子加油干。

3、不要好高骛远,不要过度追求7nm、5nm,芯片制造是繁芜的家当链,须要把更多精力先放在完善家当链,补短板上,短期内能把28nm芯片的制造家当链全部自主,目前来看就能大部分知足国家安全和民生需求了。

戴德我们生活在这个激动民气的时期,有机会见证中国芯片家当的崛起和反超。

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