什么是电子级氢氟酸
高纯电子化学品又称湿电子化学品，品种类繁多，比如氢氟酸、光刻胶、氟化聚酰胺等，运用广泛，是微电子、光电子湿法工艺制程中利用的各种电子化人为料。超净高纯试剂一样平常哀求尘埃颗粒粒径掌握在 0.5µm 以下，杂质含量低于ppm 级（10-6 为 ppm，10-9 为 ppb，是 10-12为 ppt）的化学试剂，是化学试剂中对颗粒粒径掌握、杂质含量哀求最高的试剂。目前广泛利用于半导体、太阳能硅片、LED 和平板显示等电子元器件的洗濯和蚀刻等工艺环节。
电子级氢氟酸是高纯电子化学品当中的一种，紧张用于去除氧化物，在半导体、太阳能光伏板和液晶显示器制造过程当中被大量利用。个中，半导系统编制造是电子级氢氟酸的最大运用市场，约占氢氟酸总花费量47.3%。
在半导系统编制造过程中，电子级氢氟酸紧张用于晶圆表面洗濯、芯片加工过程的洗濯和堕落等。资料显示，在半导系统编制程中，有50多个环节须要利用高纯度电子氟化氢，足见其主要性。不过，相对付其他领域的运用来说，半导系统编制造对付电子级氢氟酸的品质和纯度哀求也更高。
国产电子级氢氟酸已进入国际一流水平
据多氟多董事长李世江先容说，多氟多在超净高纯电子化学品的研发生产过程中，打破了工艺技能、剖析检测技能、超净化处理技能、包装容器的洗濯技能及标准化技能等关键技能，所生产的电子级氢氟酸品质达到UP-SSS级（G5级别），产品纯度达到PPT级，是目前半导体用电子级氢氟酸的最高级别，能够知足目前最前辈工艺制程对材料的哀求，处于国际一流水平。
而根据国际半导体设备与材料组织（SEMI）成立的 SEMI 化学试剂标准委员会，对天下湿电子化学品的等级的标准划分来看，紧张划分为 SEMI G1 至 SEMI G5级。
在各运用领域的产品标准有所不同，光伏一样平常只须要 G1 级水平；显示面板和 LED 对湿电子化学品的等级哀求一样平常为 G2、G3 水平；半导系统编制造对湿电子化学品的纯度哀求较高，基本集中在 G3以上水平，晶圆尺寸越大对纯度哀求越高，12 英寸晶圆制造一样平常哀求 G4 以上，即G5级；分立器件对湿电子化学品纯度的哀求低于芯片制造，基本集中在 G2级。
据不完备统计，我国电子级氢氟酸生产厂家有11家旁边，但是能够达到半导体所用G4级及以上的企业仅多氟多、中巨芯（原巨化股份）、滨化股份、兴发集团四家旁边。而能够供应12英寸晶圆利用需求的超净高纯电子级氢氟酸，即G5级别（UP-SSS）电子级氢氟酸的，目前彷佛只有多氟多一家。
鉴于环球晶圆代工龙头台积电对付材料的严格哀求，这次多氟多成功打入台积电南京12英寸晶圆厂（紧张生产16/12nm制程芯片）的G5级电子级氢氟酸产品已达到了国际一流水平。
日本厂商霸占垄断地位
国产厂商把握机遇，开拓海内外市场
在环球氢氟酸市场中，日本企业居于绝对主导地位，瑞星化工（Stella Chemifa）、大金、森田化学三家日本企业合计市场份额超过90%。
在2019年7月，日本政府还曾凭借其在半导体材料领域的强势地位对韩国进行制裁，限定向韩国出口三种关键半导体材料，个中就包括用于半导系统编制造过程中所需的电子级氢氟酸。一韶光使得使得韩国半导体家当受到沉重打击，三星、SK海力士等韩国半导系统编制造大厂急的如“热锅上的蚂蚁”，急忙探求替代供应商。此举也直接推动了国产电子级氢氟酸供应商进入韩国市场。
资料显示，中国拥有较为丰富的氟化氢产能。目前，多氟多、中巨芯（原巨化股份）、滨化股份、兴发集团等企业目前均具备生产半导系统编制造所需的电子级氟化氢的能力。中国作为当时的氟化氢的净出口国，也随着日本对韩国禁售电子级氟化氢事宜的发酵，进一步增强了国产电子级氟化氢厂商的生产能力，强化国际市场地位。
据理解，日本限定对韩国出口电子级氢氟酸确当月，滨化集团的电子级氢氟酸就已成功拿到部分韩国半导体厂商的批量订单。多氟多在此事宜之后，也凭借过硬的产品质量和稳定的供应量，顺利通过审核，将其电子级氢氟酸出口到了韩国12英寸高端半导体企业，成功跻身环球高纯电子化学品材料供应链。
此外，得益于近年来国家对付半导体家当的重视和扶持，以及中美贸易战及科技战背景之下的国产半导体家当链的自主可控与国产替代需求，也推动了电子级氢氟酸的国产化。
多氟多董事长李世江表示，高端半导体市场长期以来被国外企业所垄断，我国半导体家当发展的关键设备和八成以上的关键原材料长期依赖入口，严重影响了我国半导体家当的康健有序发展。自2015年开始，多氟多以半导体市场8英寸客户为出发点，不断创新发展，开拓出具有独立知识产权的电子级化学品生产新工艺，开拓新市场，以电子级氢氟酸为代表的高纯电子化学品接连取得主冲要破，并逐渐被海内国外的半导体龙头企业所认可和利用。
据先容，多氟多深耕高端氟化人为料生产技能10余年，立足环球电子化学品市场，产品质量和管理水平已得到德州仪器、韩国三星、长鑫存储等大型半导体企业认可，打入了美韩等跨国半导体公司的供应链，同时大批量供应海内多条8英寸和12英寸半导体芯片产线。近期成功进入台积电这样一流的芯片制造企业，更是证明了多氟多在行业内的认可度和影响力正在不断地巩固和提高。
据李世江先容，由于台积电对付供应商的审查非常严格，为此多氟多高度重视、充分准备，成立了总经理挂帅的审核事情推进领导小组统筹详细事情，严格按照台积电的哀求对全体体系进行完善提升。审核一共分为三个阶段，分别是文件审核、现场稽核、产品验证。终极，多氟多经由了两年多的韶光完成了全体审核过程，依赖过硬的技能、创新的成果及稳定的品质通过了台积电的验证，成功成为台积电合格供应商并开始批量供货。
值得一提的是，除了电子级氢氟酸这类的湿电子级化学品之外，多氟多在干电子化学品上同样成绩斐然，多氟多的子公司——中宁硅业的高纯硅烷、乙硅烷、高纯四氟化硅、纳米硅粉等产品已进入海内有名半导体企业供应链。
在产能方面，多氟多目前在河南的电子级氢氟酸工厂年产能为5万吨（含IC级1万吨）。其余，在多氟多2021年定增11.5亿元募投项目中显示，多氟多正在培植年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸、年产3万吨超净高纯湿电子化学品、100吨高纯乙硅烷、100吨高纯氟氮稠浊气、300吨高纯四氟化硅等项目。这些项目将于今年下半年陆续建成投产，并根据市场情形逐步开释产能，以更好地知足半导体家当对电子化学品持续增长的需求。
编辑：芯智讯-浪客剑
