薄膜沉积是晶圆加工中的关键流程之一，紧张分为：物理气相沉积 PVD和化学气相沉积 CVD。
物理气相沉积的过程中不发生化学反应，只发生物质的相变等物理变革，如蒸镀过程是将固态蒸镀源转换为气态，再在目标表面形成固态膜的过程。而化学气相沉积 CVD 则通过化学反应进行，将反应源以气体形式通入反应腔中，经由与其他外部反应物或与基板进行化学反应形成目标天生物沉积于基板上。以上工艺均利用特定的CVD设备以及PVD设备。
PVD工艺一样平常可分为三种：真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀。
芯片制造过程中沉积不同薄膜所利用的PVD设备也不同，关键的PVD设备紧张包括：硬掩膜（Hard Mask ）PVD设备、铜互联（CuBS）PVD 以及铝衬垫（Al PAD）PVD。
1、硬掩膜PVD：设备运用广泛 海内技能成熟
硬掩膜工艺可以为金属互连线的形状供应精准掌握，在集成电路制造中十分关键。低介电材料氮化钛（TiN）作为硬掩膜材料运用广泛。TiN 掩膜材料沉积对PVD设备的哀求较高，其独特的甚高频技能，在中性应力和薄膜密度硬度之间达到了良好的平衡，从而提高产品良率，制造出高密度、低应力的薄膜。
海内企业方面，北方华创（002371）的 exiTin H430 TiN 金属硬掩膜PVD是海内首台专门针对 40nm以下制程的12寸金属硬掩膜设备。该系统紧张由大气平台、真空传输平台、两个去气腔室和两个工艺腔室组成，并可以实现自动生产。该设备系统的研发和量产实现了我国高端集成电路PVD设备零的打破和技能超过。该机台也成为海内首台28nm工艺后段金属布线硬掩膜标准制程机台，并进入国际供应链体系，同时通过了半导体行业SEMI S2及F47 认证。
2、铜互联（CuBS）PVD设备：成功冲破AMAT垄断 逻辑产线订单空间巨大
铜互连是硅芯片制造中的关键工艺。金属铜由于具有更小的电阻率，可以有效地降落互连线的电阻，同时电迁移寿命比传统的 Al 互连高两个数量级，可以提升芯片可靠性，目前已经被广泛运用。在制作铜互连线时，常采取大马士革工艺。
沉积阻挡层和铜种籽层是大马士革工艺的关键步骤，且沉积过程中所须要的设备是CuBS PVD。
目前铜互连PVD设备约占全体PVD市场规模的70 %旁边，是最为核心的设备之一，AMAT 技能领先垄断市场，但海内厂商北方华创（002371）目前已经取得重大打破，成功冲破垄断。
AMAT在铜互连设备中十分领先，其Endura CuBS RFX PVD系统，是一款可用于32nm及22nm逻辑器件及闪存器件制程中铜沉积的设备。据中国国际招标网，截止到2019年12月，长江存储共采购铜互连设备约7台且均由AMAT供应。海内厂商北方华创（002371）在 2020年 1月10日成功中标3台长江存储设备订单，成功冲破垄断。成为继AMAT之后第二家节制铜互连PV设备技能的公司。
未来随着中芯国际、华虹系等持续扩产，国产CuBS设备潜在订单空间巨大。
3、Al Pad PVD：产线占比小 国产化程度高
Al Pad（铝衬垫），常日采取物理气相法进行沉积。Al Pad是晶片与外界连接的互连截面，同时也是集成电路的末了一道工序。其常日是采取物理气相沉积工艺在晶片的顶层金属层表面形成铝薄膜层，然后利用光刻和刻蚀工艺进行处理形成对外的接连线，作为测试电性和封装的引线端，从而形成铝衬垫。
Al Pad PVD紧张运用于Bond pad和Al interconnect工艺，对设备的高产能、高效率、低本钱、低毛病提出了更高的哀求。由于Al Pad制备只在晶圆制造流程中末了一步才会进行一层沉积，因此在产线中霸占比例较小，但内资产线此类设备的国产化率较高。海内厂商北方华创（00271）的 Al PAD PVD 已进入60-28nm产线，且14nm产线正加速验证。
内资PVD需求空间达80亿
晶圆制造设备约占半导体设备投资额的80%，而成膜设备则占晶圆投资设备的20%，一样平常来说PVD设备与CVD设备占比靠近，各10%。
在PVD设备领域，AMAT一家独大，约占环球市场份额的80%以上，但目前海内厂商也在不断打破。选取长江存储、华虹无锡、华力微三条产线统计，对PVD设备的国产化率情形进行预估：AMAT在内资产线中占比约81%，北方华创（002371）是内资产线中PVD设备的紧张供应商，占比约10%，随着公司 CuBS PVD 设备成功出货冲破垄断，未来PVD设备的国产化率有望进一步提升。
新打破的 CuBS PVD设备未来市场规模巨大，估量中芯国际、华虹系、合肥长鑫（一期）以及长江存储（一期）产线从现在到终极达产对该类设备市场需求规模可超过 40亿元。个中逻辑芯片代工产线是未来CuBS 的主要拉动力量，其对 CuBS PVD 需求量是同产能存储器产线的4-5 倍，逻辑代工产线达到月产能10万片估量须要超过40台 CuBS PVD 设备。
上市公司来说数量较少，紧张集中在中微公司（688012）、北方华创（002371）。其余扩展一下，还可关注洗濯设备龙头盛美半导体（ACMR.O）、芯源微（688037）、沈阳拓荆、华海清科、北京屹唐及上海微电子。
