真空泵是一种利用机器、物理、化学、物理和化学等方法对容器抽真空，以得到并保持真空的装置的气体运送东西。它将低于大气压的环境中的气体运送到大气中，或在同一环境中以大气压运送气体。真空泵的浸染是从真空室内抽出气体分子，使设备内的压力低于整机大气压，使真空室内的气体压力降落，达到所哀求的真空度。
随着真空运用的发展，真空泵的种类繁多，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万或几百万升不等。极限压力（极限真空）范围从粗真空到10-12Pa以上的极高真空。为了担保真空泵能达到较高的真空度，必须担保真空泵转子之间的间隙。因此，在利用真空泵时，必须配备前级泵。
前级真空泵是指排气至大气压力的真空泵。用前级泵将系统中的压力抽到一定范围后再启动真空泵，以免真空泵超负荷运行。它们还须要支持赞助泵或实现其运行的初始条件。后备泵可选用水（液）环真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、往来来往式真空泵等直接排气的真空泵。
由于真空运用部门所涉及的事情压力范围很广，任何类型的真空泵都不可能完备适用于所有的事情压力范围。只能根据不同的事情压力范围和不同的事情哀求采取不同的型式。真空泵。为了利用的方便和各种真空工艺的须要，有时将各种真空泵按其性能哀求进行组合，以单元式运用。真空泵抽的真空度丈量一样平常利用传感器来监测，如工采网代理的以下两款真空度检测的传感器：
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2601，遵照没有化学反应的物理皮拉尼事理，可以利用在串扰气体环境中，，与一个大略恒定的温度电路兼容。
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 微型皮拉尼真空计 压力计 - MTCS2300系列，采取镍铂电阻MEMS技能， 将一个大微机器低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电阻以及体硅上的两个补偿用参考电阻，集成在微型封装中。
荷兰Xensor热导式气体传感器- XEN-TCG3880：是用硅技能制造的热导式传感器。传感器芯片包含了2.53 33mm的硅晶片, 0.3mm的厚度,有一层氮化硅的薄膜，可用于10mPa~10KPa之间的真空度丈量。
