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◎ 科技日报 付毅飞
6月29日从中国电子科技集团获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（简称电科装备）已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的家当安全。
据悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备，28纳米则是当前芯片运用领域中覆盖面最广的成熟制程。
电科装备连续打破光路、掌握、软件等关键模块的核心技能，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖，切实保障中国“芯”的生产制造。
据理解，作为海内最早从事离子注入设备研制及家当化的企业，电科装备已具备从产品设计到量产运用的完全研制体系，产品涵盖逻辑、存储、功率器件、传感器等工艺器件，百台设备广泛运用于海内各大集成电路前辈产线，累计流片量超2000万片，有力提升我国度当链供应链韧性和安全水平。
来源：科技日报
