日前，一辆挂有危险标识的罐装运输车稳稳驶入厂区，公司专职管理员勾引车辆，过磅、取样、考验、联单签收……一系列流程后，车被勾引至专用卸车区，车上的分外液体被吸收到公司的质料储料罐中，等待用于后续的生产。
这是在位于金山第二工业区内的上海澎博钛白粉有限公司（以下简称澎博公司）看到的场景。罐装车内装运的是液体硫酸，它的分外性在于是上游集成电路芯片生产企业利用过的废弃硫酸。
在现场，公司卖力人何文龙说，公司是上海商场成电路芯片行业产生的废硫酸资源化利用定点单位，每天安排专用车辆将废酸运回工厂，经由严格的考验流程后再投入到钛白粉生产当中，今年1月-7月已处置利用废酸1.5万吨。
新模式办理行业发展难题
据上海市生态环境局干系卖力人先容，上海创始的废硫酸“点对点”资源化定向再利用模式利用逐步成熟，目前已经全部覆盖了上海具备回收废酸条件的集成电路芯片制造企业，总体上稳定地办理了上海集成电路芯片制造企业废硫酸处置问题。
据上海商场成电路行业协会干系卖力人先容，集成电路家当生产过程中会利用大量浓硫酸，排放以硫酸物质为主，处理废硫酸本钱很高，同时会存在一定的生态环境安全风险。这个问题成为阻碍行业发展的难题。
直面痛点。在上海市经济和信息化委员会、上海市生态环境局等干系部门的支持下，上海市固体废物和化学品管理技能中央、上海商场成电路行业协会积极探索，多次召开专家研讨会论证处置方案，并于2016年开始由中芯国际和澎博公司开展废硫酸“点对点”资源化定向再利用试点运行，经由多轮试点验证，终极形成较为成熟的履历。
去年，上海商场成电路行业协会会同多部门专门编写形成了《钛白粉用集成电路制造行业废硫酸》（T/SICA001-2020）团体标准，在上海市质量技能监督部门网站和国家标准网上进行公示，全力保障废酸源头质量的把控。
多维度再利用效益明显
废硫酸“点对点”资源化定向再利用，这一新模式的环境效益、经济效益和社会效益都很显著。干系专家说，模式的核心是实现集成电路制造过程中产生的废硫酸替代钛白粉生产工艺过程中用到的工业硫酸。经由试点验证，这种模式技能可行性很强，废酸再利用单位在利用废硫酸生产钛白粉时，不须要调度现有工艺。同时，替用过程不增加额外的环境包袱与风险，不影响产品的质量，符合“固体废物减量化、资源化和无害化”原则。
谈到经济效益，这位专家算了一笔账：澎博公司再利用废硫酸每吨收费500元，按照上海市往年废硫酸处置费每吨2000元打算，今年1月至7月，澎博公司累计利用废硫酸1.5万吨，集成电路生产企业可节约2250万元。同时，澎博公司也节省了购置工业浓硫酸的用度，产废企业和再利用企业达到了“双赢”。
此外，新模式还符合循环经济家当需求，不仅办理了废硫酸处置出路难、处置用度高的难题，降落了企业生产本钱和废硫酸处理用度，还促进了钛白粉生产单位的升级改造、精准转型和绿色发展，为日后集成电路家当的发达发展铺平了道路。
深入推进“点对点”资源化再利用
“在探索实行这一新模式的过程中，我们以守好环境底线为条件，做到严格把关，按程序推进。”上海市生态环境局干系卖力人先容，在前期提出设想并加以论证的根本上，他们于2016年发文，赞许将中芯国际和澎博公司设立为上海市首个废硫酸定向再利用试点单位，利用芯片废硫酸生产钛白粉。
2019年11月，上海市生态环境局赞许4家企业废硫酸定向资源化再利用备案。2020年10月，上海市生态环境局扩大废硫酸定向资源化再利用备案，新增4家企业，全面覆盖上海市具备回收废酸条件的集成电路制造企业。
据先容，目前，各方进展顺利，各试点企业在严格实行危险废物各项管理制度下，废硫酸源头品质得到保障，并委托具有干系运输资质的单位专人专车进走运输。澎博公司在废酸利用期间，生产运行稳定，各项污染物排放环保指标检测均符合排放标准。同时，澎博公司对生产设备工艺进行优化改造，在末端形成了可知足近期集成电路家当发展需求的每年6万吨废硫酸利用能力。
“十四五”期间，上海的集成电路产量将快速增长，需处置的废硫酸量也将随之增加。据最新统计，2020年产生废酸1.25万吨，2021年估量为2.8万吨，到2022年上海芯片企业产生的废硫酸将高达6万吨，2025年将达到10万吨以上。
面对这一形势，上海各干系部门召开会议制订了“提前谋划改造，形成需求匹配、长久稳定”的废硫酸利用原则。上海市发展和改革委员会、上海市经济和信息化委员会还专门组织专家军队到资源化综合利用企业澎博公司开展现场调研，理解情形，听取企业和行业专家的见地和建议。
作为废酸再利用定点企业，澎博公司也启动了匹配废酸资源化利用技改方案，积极相应上级部门对澎博公司以废定产、提前谋划的哀求，方案“集成电路行业10万吨废酸资源化利用”技改。
在上海市公民政府近日印发的《上海市2021-2023年生态环境保护和培植三年行动》文件上，也把稳到干系条文：在环境可控的条件下，持续推动集成电路行业废酸等危险废物“点对点”定向资源化利用事情，形成稳定的与集成电路行业未来发展相适应的废酸处置利用能力。
据悉，未来，这种废弃硫酸“点对点”资源化定向再利用模式，将有力保障我国集成电路行业的发展，也将对其他行业的危险废物综合利用起到借鉴和引领浸染。
作者：丁波蔡新华
