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一台EUV光刻机究竟一小时分娩若干芯片?ASML说清楚了_光刻_麒麟

雨夜梧桐 2024-11-14 17:06:41 0

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且ASML的产能有限,2015年交付第一台EUV光刻机以来,截止至2020年底,一共才交付了100台,而2021年上半年一共交付16台,也就意味着到目前一共才交付了116台。

2015年时,ASML交付的光刻机型号是TWINSCAN NXE:3400B,到2019年第三季度时,ASML开始交付新一代的EUV光刻机,型号为NXE:3400C。

一台EUV光刻机究竟一小时分娩若干芯片?ASML说清楚了_光刻_麒麟 科学

TWINSCAN NXE:3400B支持7纳米和5纳米节点的EUV量产,NXE:3400B每小时处理晶圆数不低于125片。
而新一代的NXE:3400C每小时处理晶圆数不低于170片,可用率超过90%。

今年ASML开始交付新一代的EUV光刻机,型号为NXE:3600D,比较于NXE:3400C,供应15%至20%的生产力改进能力。

那么利用这些数据,我们就可以算一算了。

我们以最根本的,出货量最多的NXE:3400C来打算,每小时处理170片12寸的晶圆,而一片12寸的晶圆面积约是70659平方毫米,而一块华为麒麟9000芯片面积约是100平方毫米。

理论上来讲,如果晶圆100%利用的话,一块12寸的晶圆,可以生产700块麒麟9000,但实际考虑到边角的切割,还有良率的问题,一块12寸的晶圆,能够切割麒麟9000芯片大约在450旁边。

以是一台ASML的NXE:3400C EUV光刻机,一小时就可以生产7.65万块麒麟9000芯片,再考虑到90%的可用率,那么也是6.885万块。
1天24小时可以生产165.24万块芯片,一个月便是4957.2万片麒麟9000芯片,一年便是5.95亿片。

可见,只要如果我们能够买到一台ASML的NXE:3400C EUV光刻机,不须要最新的NXE:3600D,海内高端芯片的产能基本就能够担保了。

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