华为公司申请MEMS三轴陀螺仪专利能增强在Z轴倾向上迁徙改变角速度的检测精度_弹性_陀螺仪

专利择要显示，本申请履行例公开了一种MEMS三轴陀螺仪、芯片封装构造、电路板组件及电子设备，涉及微机电系统陀螺仪领域，办理了现有MEMS三轴陀螺仪中Z轴检测电极的检测结果中包含双倍频偏差旗子暗记而影响在Z轴方向上迁徙改变角速率的检测精度的问题。
MEMS三轴陀螺仪包括衬底、驱动组件、质量块组件及弹性梁组件。
质量块组件包括中央质量块和包括与驱动组件传动连接的第一质量块、第二质量块和第三质量块的第一质量块组。
弹性梁组件包括中央弹性梁及第一弹性梁组。
每个第一弹性梁组包括将质量块连接的第一弹性梁、第二弹性梁、第三弹性梁、第四弹性梁及第五弹性梁。
通过设计第一弹性梁、第二弹性梁、第三弹性梁及第五弹性梁不同方向上具有不同的刚度来办理上述问题。

本文源自金融界