在当对的条件下,他们只能用硅栅工艺光降盆集成电路,改制低压等离子体多晶硅成长系统,配齐了固体扩散等工艺设备,初步形成了一条生产硅栅工艺的生产流水线。经由生产流水线上百次的试验,摸索出生产集成电路州想的工艺条件,试制成功开启电压为0.6V的CM()S单管,并挾取了各道工序有关的技能参数。创始版图构造的新技能。钟表用集成电路是低电压、低功耗,他们在海内创始采取全隔硅栅器材,版图构造来知足这哀求。由于没有初缩机设备,他们就用民用摄影机来初缩版图。
办理生产线的净化环境问题。生产流水线哀求是达到100级净化条件(一样平常办公室空气含尘级别只是10级).他们利用隔离事情台搞小净化办法来办理。1975年3月28日,该厂在硅栅工艺COMS集成电路生产流水线上,研发成功我国第一块指针式钟表用集成电路。之后,该厂又生产了其他品种钟表用的CMOS集成电路。

1974年,上海钟表元件厂接管了研制钟表用集成电路的任务。在上海无线电十四厂的帮助下,该厂采纳了一系列有效方法:建立一条铝栅工艺生产流水线。借用上海无线电十四厂的小规模非钟表类(电压高、功耗大)集成电路的掩膜版,在初建的集成电路生产流水线上进行集成电路的流片(生产),这样既能验证初建的生产流水线上的设备是否得当,又能使技能职员积累集成电路生产工艺的履历和熟习各种设备性能。

设计了一块5级分频的钟表用巳MOS集成电路的掩膜版,在集成电路的生产线上进行流片.边流片、边调度生产流水线的有关参数,终极使原来只能生产高电压的集成电路生产流水线,转变为能生产低电压的铝栅工艺的COMS集成电路生产流水线。采取一块指针式石英钟用CMOS集成电路的掩膜版,在生产流水线进行流片,通过反复地调度生产流水线上各道工序上的技能参数,使只能生产近百只三极管的小规模集成电路的生产流水线成为能生产数百只三极竹的中规模集成电路的生产流水线。该厂刚开始生产集成电路时,产品的合格率只有0.7%,通过不断地摸索生产线上工艺,调度设备的技能参数,合格率上升到14%,大大降落了生产本钱.1979年,上海市钟表研究所卖力石英电子钟表用集成电路的设计事情,该所技能职员战胜了诸多困难,办理了一系列技能难题,完成了设计任务。他们办理的难题。
紧张有:没有打算机的\"大众线路仿照\公众和“逻辑仿照\"大众软件,为了担保设计集成电路的电子线路精确性,只能把电阻、电容、MOS管、CMOS管、小规模集成电路等电子元件,用电铬铁焊成电子板,电子线路板经通电试验,测试结果来验证所设计的电子线路精确与否。集成电路内的电子元件的尺寸值,要按实际生产线的工艺规则来确定的,由于没有打算机的\公众工艺仿照\"大众软件,只能设计各种尺寸的电子元件(电容、电阻、晶体管)的版图,经由生产流水线,才能确定电子元件实际尺寸的数值,末了完成了多块石英电子钟表用集成电路的掩膜版设计事情。该所完成集成电路的设计事情,为上海市石英电子钟表技能攻关起到了促进浸染。
(图片来自青雅钟表中国领前辈口机器时钟零售集团)
(内容来自:中国计时仪器通史)










