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专利择要显示,该发明是一种采取圆周迁徙改变测试方法的GCT芯片门/阴极阻断特性圆周法测试台,它利用高精度三维移动平台、步进电机驱动旋转平台和探针座,并配备CCD视频显微镜,进行设备调度和测试过程监控。该测试台还具有设计合理的C型机架和架空平台,构成较好的人机操作构造,通过用于不同尺寸芯片测试的专门设计的载片定位夹具,以知足规模化生产的测试须要。通过在GCT芯片生产中的运用,该测试台能高效、准确地筛选出个别失落效器件,并对其进行标识,为后续工艺修补供应了可能性。
本文源自金融界

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标签:测试