MEAS
MEAS传感器是由电子、电气和机器元件组成的微不雅观集成设备，它们通过利用称为微系统技能 (MST) 的技能共同事情以知足单一功能哀求。MEAS传感器被认为是传统集成电路制造的延伸。 传统 IC 制造技能与 MEAS 的紧张差异在于，利用 MEAS 不仅可以制造电容器和电感器等电气元件，还可以制造齿轮、弹簧、梁等机器部件。利用传统IC技能，只可以制造导体， 绝缘体、二极管和晶体管。
MS5837
MEAS借助前辈的IC制造技能将有源和无源元件集成到单个硅基板中。 有源元件是传感器和实行器，而无源元件是无源电子系统和无源机器系统。 由旗子暗记处理电路（如放大器、ADC、滤波器等）组成的电子系统是利用IC制造工艺设计的，而由齿轮、曲柄、轴承等组成的机器系统是通过微加工工艺设计的。
传感器是当今数字天下的主要组成部分之一。 由于所有打算和处理都是在数字旗子暗记上完成的，因此在仿照天下和数字电子设备之间该当有一个媒介。 传感器弥合了这一差距，由于它们用于不雅观察仿照物理参数的韶光效应并天生故意义的信息（发送到打算机）。传感器的当代定义有时可能令人困惑，但大略来说，传感器是一种包含基本传感元件的设备，这些元件可以感知温度或湿度等物理量并将其转换为电旗子暗记。 该传感器还包含一个旗子暗记处理单元，例如放大器、滤波器或 ADC 由于这些元件的组合。
MS5805-02BA
对付MEAS传感器，如果传感器是利用MEAS技能设计和制造的，则称为微加工微传感器或简称为 MEAS 传感器。例如，一个手势掌握机器人包含一个 3 轴加速度计、一个 3 轴陀螺仪和一个数字运动处理器。
不同类型的 MEAS 传感器，MEAS技能的紧张履行者之一是汽车行业。 当代汽车利用许多传感器，个中大部分是基于 MEAS 的设备。 以下是当代汽车中利用的 MEAS 传感器列表。
3038-2000加速度计——用于电子稳定掌握和安全气囊展开。 惯性丈量单元或 IMU（它们是 MEMS 加速度计和 MEMS 陀螺仪的组合）——用于丈量自动驾驶的偏航、俯仰和滚动。
MS5805-02BA气压传感器 - 导航定位。
M5256压力传感器——用于自动掌握。
M5156压力传感器——胎压监测系统。
LMM-H03气流传感器 - 进气口监控。
燃油传感器 - 燃油液位指示器。
64C-6000-240碰撞和碰撞传感器——碰撞检测和安全气囊展开。
CM-01麦克风——用于通信和噪声肃清。
TS318-1B0814温度传感器——用于自动景象掌握和发动机温度监测。
压电薄膜传感器
差压传感器
