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专利择要显示,本申请履行例供应一种电子源芯片及其制备方法、电子设备。该电子源芯片包括:衬底、第一介质层、第一电极层、电子发射体以及第一保护层;第一介质层堆叠在衬底上;第一电极层堆叠在第一介质层的阔别衬底的一侧,第一电极层开设有沿堆叠方向贯通第一介质层和第一电极层,至衬底的第一电子发射腔室;电子发射体位于第一电子发射腔室内,并堆叠在衬底上;电子发射体的外壁面上、第一电子发射腔室的内壁面上均形成有第一保护层。本申请履行例供应的电子源芯片提高了电子源芯片发射电子的稳定性和可靠性,担保了电子的正常发射,同时,延长了电子源芯片的利用寿命。
本文源自金融界

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