近年来，我国大陆半导体设备企业一贯在努力追赶国际前辈脚步。在多种设备领域有一定打破，除了上述中微半导体的5nm等离子体刻蚀机之外，有越来越多的产品可运用于14nm、7nm制程。
但是，海内设备与国外前辈设备比较仍有较大差距，紧张表现在两方面：一是有一定竞争力的产品在领先制程上的差距；二是部分产品完备没有竞争能力或尚未布局，比如海内光刻机掉队许多代际，仅能达到90nm的光刻哀求，海内探针台也处于研发阶段，尚未实现发卖收入。
那么，在国家的扶持下，经由这么多年的发展，我国本土半导体设备各个细分领域的发展情形如何呢？干系企业都有哪些？发展到了什么程度呢？下面就来梳理一下。
北方华创
北方华创由七星电子和北方微电子计策重组而成。七星电子主营洗濯机、氧化炉、 气体质量掌握器(MFC)等半导体装备及精密电子元器件等业务，此外七星电子还是海内真空设备、 新能源锂电装备主要供应商。北方微电子主营刻蚀设备(Etch)、物理气相沉积设备(PVD)、化学气相沉积设备(CVD)三类设备。
2010 年 3 月，七星电子在厚交所上市。 2016 年 8 月，七星电子与北方微电子实现计策重组，成为中国规模最大、产品体系最丰富、涉及领域最广的高端半导体工艺设备供应商，幵成功引迚国家集成甴电路家当基金(大基金)等计策投资者，实现了家当与成本的领悟。 公司实际掌握人是北京电控，从属于国资委。
2017 年 2 月，七星电子正式更名为北方华创科技集团株式会社，完成了内部整合，推出全新品牌“北方华创”，并形成了半导体装备、真空装备、新能源锂电装备和高精密电子元器件四大业务板块加集团总部的“4+1”经营管理模式。
北方华创的半导体装备亊业群紧张包括刻蚀机、 PVD、 CVD、氧化炉、扩散炉、洗濯机及质量流量掌握器(MFC)等 7 大类半导体设备及零部件，面向集成电路、前辈封装等 8 个运用领域，涵盖了半导体生产前段工艺制程中的除光刻机外的大部分关键装备。 客户包括中芯国际、华力微电子、长江存储等海内一线半导系统编制造企业，以及长电科技、 晶方科技、华天科技等半导体封装厂商。
重组之后，北方华创古迹快速增长。2017 年实现业务收入 22.23 亿元，同比增长37.01%，归母净利润 1.26 亿元，同比增长 35.21%。 根据公司 2018 年半年报古迹快报，2018 年上半年公司实现业务收入13.95 亿元，同比增长 33.44%， 归母净利润 1.19 亿元，同比增长 125.44%。 随着下贱晶圆厂投资加速， 公司半导体设备等规模持续扩展。
长川科技
长川科技是海内集成电路封装测试、晶圆制造及芯片设计环节测试设备紧张供应商。 半导体测试设备紧张包括分选机、 测试机和探针台三大类。自2008年4月成立以来，该公司率先实现了半导体测试设备（分选机和测试机） 的国产化， 并得到国内外浩瀚一流集成电路企业的利用和认可。
该公司于 2012 年 2 月承担并完成国家“十二五”方案重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”中的高端封装设备与材料运用工程项目，并于 2015 年 3 月得到国家集成电路家当基金投资。
该公司的测试机和分选机在核心性能指标上已达到海内领先、靠近国外前辈水平，同时售价低于国外同类型号产品，具备较高的性价比上风。 公司产品已进入海内主流封测企业， 如天水华天、 长电科技、 杭州士兰微、 通富微电等。 2017 年，该公司对外积极开拓市场， 设立台湾办事处，拓展台湾市场。
2013~2017年，长川科技营收实现了由 4,341 万元到 1.80 亿元的超过，复合增速达39.75%。 2017 年，归属母公司净利润由992万元增长至 5,025 万元， 复合增速达31.48%。
中微半导体
中微半导体成立于 2004 年，是一家微加工高端设备公司， 经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等。该公司管理层技能秘闻深厚，大多有任职于运用材料、LAM和英特尔等环球半导体一流企业的履历。
中微半导体先后承担并圆满完成 65-45 纳米、 32-22 纳米、22-14 纳米等三项等离子介质刻蚀设备产品研制和家当化。 公司自主研发的等离子体刻蚀设备 Primo D-RIE 可用于加工 64/45/28 纳米氧化硅、氮化硅等电介质材料，介质刻蚀设备 Primo AD-RIE 可用于 22nm 及以下芯片加工，均已进入海内前辈产线。中微半导体的介质刻蚀机已经完成了5nm 的生产。
晶盛机电
晶盛机电是一家专业从事半导体、光伏设备研发及制造的高新技能企业，是海内技能领先的晶体硅成长设备供应商。该公司专注于拥有自主品牌的晶体硅成长设备及其掌握系统的研发、制造和发卖，先后开拓出拥有完备自主知识产权的直拉式全自动晶体成长炉、铸锭多晶炉产品。
该公司立足于“提高光电转化效率、降落发电本钱”的光伏技能路线，实现了硅晶体成长“全自动、高性能、高效率、低能耗”海内领先、国际前辈的技能上风。全自动单晶炉系列产品和 JSH800 型气致冷多晶炉产品分别被四部委评为国家重点新产品。同时公司积极向光伏家当链装备进行延伸，2015 年成功开拓并发卖了新一代单晶棒切磨复合一体机、单晶硅棒截断机、多晶硅块研磨一体机、多晶硅块截断机等多种智能化妆备，并布局高效光伏电池装备和组件装备的研发。
该公司的晶体成长设备特殊是单晶硅成长炉发卖形势较好，紧张是单晶光伏的技能路线得到认可，随着下贱厂商的扩产，单晶的渗透率也逐步提升，带来对单晶硅成长炉的需求增加，该类产品收入已经占业务收入的 81%。
该公司主营业务伴随海内光伏家当的上升发展，给主营业务收入和利润带来显著增长，近两年的增长率均在 80%以上，其余，其毛利率水平和净利率水平也基本坚持稳定。
上海微电子
上海微电子装备有限公司成立于2002年，紧张致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、发卖与做事，该公司产品可广泛运用于IC制造与前辈封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。
该公司紧张产品包括：
600扫描光刻机系列—前道IC制造
基于前辈的扫描光刻机平台技能，供应覆盖前道IC制造90nm节点以上大规模生产所需，包含90nm、130nm和280nm平分歧分辨率节点哀求的ArF、KrF及i-line步进扫描投影光刻机。该系列光刻机可兼容200mm和300mm硅片。
500步进光刻机系列—后道IC、MEMS制造
基于前辈的步进光刻机平台技能，供应覆盖后道IC封装、MEMS/NEMS制造的步进投影光刻机。该系列光刻机采取高功率汞灯的ghi线作为曝光光源，其前辈的逐场调焦调平技能对薄胶和厚胶工艺，以及TSV-3D构造等具有良好的自动适应性，并通过采取具有专利的图像智能识别技能，无需专门设计分外对准标记。该系列设备具有高分辨率、高套刻精度和高生产率等一系列优点，可知足用户对设备高性能、高可靠性、低利用本钱(COO)的生产需求。
200光刻机系列—AM-OLED显示屏制造
200系列投影光刻机综合采取前辈的步进光刻机平台技能和扫描光刻机平台技能，专用于新一代AM-OLED显示屏的TFT电路制造。该系列光刻机不仅可用于基板尺寸为200mm × 200mm的工艺研发线，也可用于基板尺寸为G2.5(370mm × 470mm)和G4.5(730mm × 920mm)的AM-OLED显示屏量产线。
硅片边缘曝光机系列——芯片级封装工艺运用
SMEE开拓的硅片边缘曝光机供应了知足芯片级封装工艺中对硅片边缘进行去胶处理的能力，设备可按照客户哀求配置边缘曝光宽度、硅片物料接口形式、曝光工位平分歧形式。设备同时兼容150mm、200mm和300mm等三种不同规格的硅片，边缘曝光精度可到达0.1mm。设备配置了高功率光源，具有较高的硅片面照度，提高了设备产率。
至纯科技
至纯科技成立于 2000 年， 紧张为电子、生物医药及食品饮料等行业的前辈制造业企业供应高纯工艺系统的整体办理方案， 产品为高纯工艺设备和以设备组成的高纯工艺系统，覆盖设计、加工制造、安装以及配套工程、检测、厂务托管、标定和掩护保养等增值做事。
该公司在 2016年前产品约一半收入来自医药类行业，光伏、 LED 行业及半导体行业收入占比较小。 2016年以来，公司捉住半导体家当的发展机遇，逐步扩大其产品在半导体领域的发卖占比， 2016和 2017 年来自半导体领域收入占公司业务收入比重分别为 50%和 57%，霸占公司业务收入半壁江山。主攻半导体洗濯设备。
该公司于 2015 年开始启动湿法工艺装备研发， 2016 年景立院士事情站， 2017 年景立独立的半导体湿法奇迹部至微半导体，目前已经形成了 UltronB200 和 Ultron B300 的槽式湿法洗濯设备和 Ultron S200 和 Ultron S300 的单片式湿法洗濯设备产品系列， 并取得 6 台的批量订单。
精测电子
武汉精测电子技能株式会社创立于 2006 年 4 月，并于 2016 年 11 月在创业板上市。公司紧张从事平板显示检测系统的研发、生产与发卖，在海内平板显示测试领域处于绝对领先地位， 主营产品包括：模组检测系统、面板检测系统、OLED 检测系统、AOI光学检测系统和平板显示自动扮装备。近几年来，该公司积极对外投资，设立多家子公司，业务规模迅速扩展，进一步完善了家当布局。
该公司成立初期紧张专注于基于电讯技能的旗子暗记检测，是海内较早开拓出适用于液晶模组生产线的 3D 检测、基于 DP 接口的液晶模组生产线的检测和液晶模组生产线的 Wi-Fi 全无线检测产品的企业，目前该公司的 Module 制程检测系统的产品技能已处于行业领先水平。
2014 年，精测电子积极研发 AOI 光学检测系统和平板显示自动扮装备，引进了宏濑光电和台湾光达关于 AOI 光学检测系统和平板显示自动扮装备干系的专利等知识产权，使其在 Array制程和 Cell 制程的检测形成自有技能，初步形成了“光、机、电”技能一体化的上风。
精测电子2018年上半年财务报告显示，该公司收入紧张来自 AOI 光学检测系统业务，占比 45.49%，毛利占比 41.94%；其次是模组检测系统业务，收入占比 23.33%，毛利占比 27.68%； OLED 检测系统和平面显示自动扮装备收入占比分别为 14.29%和12.30%，毛利占比为 14.26%和 10.28%。
电子科技集团45所
中国电子科技集团公司第45研究所创立于1958年，2010年9月，中心计心情构体例委员会办公室批准45所第一名称变动为“北京半导体专用设备研究所”，第二名称仍保持“中国电子科技集团公司第四十五研究所”不变。
45所是海内专门从事军工电子元器件关键工艺设备技能、设备整机系统以及设备运用工艺研究开拓和生产制造的国家重点军工科研生产单位。
45以是光学细微加工和精密机器与系统自动化为专业方向，以机器视觉技能、运动掌握技能、精密运动事情台与物料传输系统技能、精密零部件设计优化与高效制造技能、设备运用工艺研究与归天技能、整机系统集成技能等六大共性关键技能为支撑，环绕集成电路制造设备、半导体照明器件制造设备、光伏电池制造设备、光电组件制造和系统集成与做事等五个重点技能领域，开拓出了电子材料加工设备、芯片制造设备、光/声/电检测设备、化学处理设备、前辈封装设备、电子图形印刷设备、晶体元器件和光伏电池等八大类工艺设备和产品，做事于集成电路、光电元器件与组件、半导体照明和太阳能光伏电池四大行业.
上海睿励
睿励科学仪器（上海）有限公司是于2005年创建的合伙公司，致力于研发、生产和发卖具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备家傍边的工艺检测设备。紧张生产用于65/28/14nm制程工艺掌握的膜厚丈量设备。
沈阳芯源
沈阳芯源微电子设备有限公司成立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所引进国外前辈技能投资创建。
芯源公司自主开拓的单片匀胶机、显影机、喷胶机、去胶机、洗濯机、湿法刻蚀机等设备广泛运用于半导体、前辈封装、MEMS、LED等领域。
1.LED领域匀胶显影机：运用于LED芯片制造、PSS（图形化衬底）、MEMS、HCPV（高聚光型太阳能电池）、Waveguide（光波导）工艺的匀胶显影等工艺制程。
2.高端封装全自动涂胶显影机:广泛运用于前辈封装BGA、Flip-Chip、WSP、CSP制程的高黏度PR、PI、Epoxy的涂敷、显影工艺制程。
3.高端封装全自动喷雾式涂胶机: 广泛运用于TSV、MEMS、WLP等工艺制程。
4.单片湿法刻蚀机/去胶机/洗濯机:广泛运用于前辈封装BGA、Flip-Chip、WSP、CSP制程的刻蚀、去胶、洗濯工艺制程。
5.前道堆叠式全自动涂胶显影机：运用于90nm光刻工艺、BARC涂覆、SOC、SOD、SOG等工艺制程。
盛美半导体
盛美半导体（ACM Research）是海内半导体洗濯设备紧张供应商，于1998年在美国硅谷成立，紧张研发电抛光技能，2006 年景立上海子公司，专注于半导体洗濯设备。2017年11月4日公司在美国纳斯达克上市。2017年公司业务收入3650万美元，同比增长33.2%，个中90%以上的业务收入来自于半导体洗濯设备。2017 年研发投入占业务收入比例为14.1%。
由于声波洗濯可能会造成晶片损伤，行业公司大多转向研发其他技能，盛美半导体另辟路子研发出空间交变相移兆声波洗濯（SAPS）和时序能激气泡震荡兆声波洗濯（TEBO）两项专利技能，可以实现无伤洗濯。公司的洗濯设备目前已经进入 SK 海力士、长江存储和上海华力等前辈产线。
天津华海清科
天津华海清科机电科技有限公司成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家计策，为推动我国化学机器抛光（CMP）技能和设备家当化成立的高科技企业。
华海清科紧张从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、发卖与做事，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品可广泛运用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
中电科装备
中电科电子装备集团有限公司成立于2013年，是在中国电子科技集团公司2所、45所、48所根本上组建成立的二级成员单位，属中国电子科技集团公司独资公司，注册资金21亿元，
该公司是我国以集成电路制造装备、新型平板显示装备、光伏新能源装备以及太阳能光伏家当为主的科研生产骨干单位，具备集成电路局部成套和系统集成能力以及光伏太阳能家当链整线交钥匙能力。
多年来，利用自身雄厚的科研技能和人才上风，形成了以光刻机、平坦化妆备（CMP）、离子注入机、电化学沉积设备（ECD）等为代表的微电子工艺设备研究开拓与生产制造体系，涵盖材料加工、芯片制造、前辈封装和测试检测等多个领域；通过了ISO9001、GJB9001A、UL、CE、TüV、NRE等质量管理体系与国际认证。
沈阳拓荆
沈阳拓荆科技有限公司成立于2010年4月，是由外洋专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技能企业。拓荆公司致力于研究和生产薄膜设备，两次承担国家科技重大专项。2016年、2017年连续两年获评“中国半导体设备五强企业”。
该公司拥有12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积设备）、ALD（原子层薄膜沉积设备）、3D NAND PECVD（三维构造闪存专用PECVD设备）三个完全系列产品，技能指标达到国际前辈水平。产品广泛运用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等高端技能领域。
华海清科
天津华海清科机电科技有限公司成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家计策，为推动我国化学机器抛光（CMP）技能和设备家当化成立的高科技企业。
华海清科紧张从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、发卖与做事，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品可广泛运用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
以上便是我国大陆地区的紧张半导体设备生产企业。
随着我国半导体家当的快速发展，对半导体设备的需求量越来越大，而本土半导体设备企业面临着供给与需求错配的情形。一方面，海内的半导体设备需求随着下贱产线的扩展而迅速增加，大陆的半导体设备需求占环球半导体设备需求的比重较高；但另一方面，本土的设备供给存在着水平较为掉队，国产化率不高的情形。
针对这一环境，在国家的大力支持下，海内设备企业须要积极布局，以在各细分设备领域实现打破。
