随着数据存储需求的日益增长,3D NAND闪存技能凭借其高密度和低本钱特性,已成为非易失落性存储领域的关键技能。为知足面积密度的持续缩放趋势,3D NAND层数不断增加,这匆匆使了双层乃至三层架构的涌现,以避免对更繁芜蚀刻工艺的需求。然而,这种多层构造在两层交界处引入了新的可靠性寻衅。

近期,TechInsights对从SK hynix 2TB SSD(型号H25T3TDG8C-X682,利用PC811 HFS002TEM9X152N设备)中提取的SK hynix 238L 512 Gb 3D NAND芯片剖析,并针对市场上的主流产品包括三星236L、SK hynix 238L、美光232L以及长江存储232L等2xx层TLC NAND产品,同时还有KIOXIA和西部数据的112L/162L以及Solidigm的144L/192L(FG)产品线,作了比拟剖析:
个中,有一个评估3D NAND单元效能时的关键指标, 垂直单元存储效率(VCE, vertical cell efficiency),它对NAND单元的工艺、设计、集成及设备运行至关主要 。随着堆叠的总栅极数增加,单元VC孔的高度也随之上升。为降落VC高度和长宽比,一种策略是通过减少dummy栅极、通道栅极和选择栅极的数量来提升垂直单元效率。VCE可定义为生动单元占总栅极的比例,即生动WL(Word Line)数量除以总集成栅极数量。
例如,一个NAND串由生动WL、通道WL(含dummy WL)和选择器(源/漏极)组成。若其包含96个生动WL和总计115个栅极,则VCE为83.5%,打算方法为96除以115。VCE越高,对工艺集成越有利,能实现更低的长宽比和更高的生产效率。
三星在每一代产品中均保持最高的VCE水平,如单层构造的128L达到94.1%,176L COP V-NAND为92.1%,而236L第二代COP V-NAND则达到了94.8%。长江存储的232L Xtacking3 VCE为91.7%,美光232L为91%。KIOXIA的162L产品VCE稍低,为88%。SK hynix 238L拥有259个总栅极,VCE为91.9%,只管较出色,但仍略低于三星的236L水平。
随着3D NAND技能向更高层数发展,提高垂直单元效率成为降落制造繁芜度、提升本钱效益的关键成分,而各存储巨子之间的技能竞赛也正环绕这一核心指标激烈展开。
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2024年第二季度,3D NAND闪存技能路线图迎来了最新更新,展现了存储技能领域的快速发展和竞争格局。以下是对紧张厂商技能进展的深入剖析:
三星(Samsung)V7世代:三星已将单层构造改为双层构造,并将2D外围阵列设计转变为Cell-on-Periphery(COP)集成。目前,三星已向市场推出第二代COP构造的V8 236层1Tb TLC产品。
最新发布的V9代为靠近300层的286层产品,再次表示了其在层数上的打破。三星还将引入稠浊键合技能(hybrid bonding),类似于铠侠(KIOXIA)即将推出的218层CBA技能和长江存储(YMTC)现有的Xtacking技能。
V6P版本:三星为990 EVO新增了133层V6 Prime(V6P)版本,作为128层V6的补充。133层为单层构造,无COP设计,总门数为133,有效字线数由128增至133,512Gb裸片上两个面各有两个子平面,速率提升至1600MT/s。
铠侠(KIOXIA)和西部数据(WDC)连续沿用BiCS构造,当前市场上紧张为112层(第5代)产品,去年推出了162层的第6代BiCS,但该代产品生命周期可能较短。
操持跳过第7代,直接进入BiCS第8代,第直接采取218层,后续正在开拓284层的产品,两者都将采取两片晶圆的稠浊键合技能。若300层以上技能进展顺利,可能会跳过284层。
美光(Micron)美光在128层时从FG CuA转为CTF CuA集成办法,已推出176层和232层产品。
目前正开拓第7代产品,估量低于300层,类似三星的286层,未来可能直接跳至400层以上。
SK海力士(SK hynix+Solidigm)Solidigm(原Intel NAND业务)已推出144层QLC NAND,采取三甲板设计。192层QLC已面市,下一步将迈向更高层数,但其操持受SK海力士影响存在变数。
SK海力士连续采取4D PUC构造,V7 176层产品将在2024年持续供应,而238层V8 4D PUC产品将很快广泛运用于市场。去年已宣告321层V9 4D PUC样品,下一个节点可能为3yy层(如370层或380层),位于400层以下。
长江存储(YMTC)Xtacking构造:长江存储采取双晶圆稠浊键合的Xtacking构造,跳过了176层,直接进入232层。在开拓232层之前,长江存储内部曾有过192层和198层样品,但终极选择了直接过渡到232层。
下一代G5产品将拥有超过300层,并采取Xtacking 4技能。由于受到美国芯片禁令影响,长江存储可能将更多精力转向已发布的128L和232L QLC设备,并为未来3D NAND开拓多Xtacking技能。同时,长江存储正对包括美光在内的NAND竞争对手提起专利诉讼。
旺宏(MXIC)旺宏已向市场供应了首款3D NAND产品,如为任天国Switch供应的48层3D NAND芯片,目前正在采购干系零部件。旺宏正在开拓第二代96层产品。
未来两到三年内,市场有看见到超过500层乃至600、700层的3D NAND产品,这将依赖于更前辈的稠浊键合技能和优化的铁电材料,以及低温HAR蚀刻技能。







