“MIET已经在无掩模EUV光刻领域取得了进展，包括与海内其他科研机构和科学家团体联合开展的研究。该项目还将涉及 Zelenograd 公司 ESTO 和 Zelenograd 同步加速器，现在是国家研究中央库尔恰托夫研究所的技能储存综合体 (TNK) Zelenograd。
“基于在该国运行和发射的同步加速器，特殊是在 TNK Zelenograd 的同步加速器以及海内等离子源的根本上，创造技能和设备，将使处理具有设计标准的半导体晶片成为可能28 nm、16 nm 及以下，”声明说。招标文件包含这项研究事情（研发）的哀求。“无掩模X射线纳米光刻技能和正在开拓的设备在海内和天下上都没有类似物。”
工贸部与 MIET 签订的条约价格为 6.7 亿卢布。
“我们评论辩论的是长期的研发事情，从好的方面来说，这该当在 15 年前就开始了，”关于这个项目的 Stimulus 杂志出版物的作者 Alexander Mechanik说。”
俄罗斯光刻机技能目前，EUV光刻机环球只有ASML公司能够研发、生产，但它的技能限定大概多，俄罗斯操持开拓全新的EUV光刻机，利用的将是X射线技能，不须要光掩模就能生产芯片。
光刻机的架构及技能很繁芜，不过决定光刻机分辨率的紧张成分便是三点，分别是常数K、光源波长及物镜的数值孔径，波长越短，分辨率就越高，现在的EUV光刻机利用的是极紫外光EUV，波长13.5nm，可以用于制造7nm及以下的前辈工艺工艺。
技能上风X射线光刻机利用的是X射线，波长介于0.01nm到10nm之间，比EUV极紫外光还要短，因此光刻分辨率要高很多。
此外，X射线光刻机比较现在的EUV光刻机还有一个上风，那便是不须要光掩模版，可以直写光刻，这也节省了一大笔用度。
正由于有这么两个特点，俄罗斯要研发的X射线光刻机上风很大，乃至被当地的媒体宣扬为环球都没有的光刻机，ASML也做不到。
从干系资料来看，环球确实没有能达到规模量产的X射线光刻机，不过这种技能并不是现在才有，不仅美国、欧洲研究过，海内也有科研机构做了X射线光刻机，只是生产芯片的效率跟ASML的光刻机不能比的，只适宜特定场景。
不过俄罗斯在X射线及等离子之类的技能上有着深厚的根本。
莫斯科电子技能学院国立研究型大学“莫斯科电子技能学院”（俄语：Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»），简称莫电子（МИЭТ，MIET），是俄罗斯的一所国立研究型高档院校，1965年建校。特色学科为微电子学、信息技能和打算机工程。
MIET 开展的研究和开拓领域由大学的专业培训领域有：
电子学和纳米电子学无线电工程材料科学与技能、纳米材料技能领域安全信息学和打算机工程技能系统中的掌握信息安全生物技能系统和技能信息通信技能和通信系统微纳米系统技能电子手段的设计与技能运用信息学软件工程管理学院共有学生6500多人，个中研究生250多人、副博士（按照欧美及中国学制为Phd学位）270人、博士5人。
1965年12月9日，根据前苏联高档教诲部命令正式成立。
1966年，莫斯科矿业学院教授列昂尼德·叶尔绍夫被委任为代理校长。同年9月，招收了第一批学生。
1974年，雕塑家恩斯特·涅兹韦斯特内伊对主楼图书馆的外墙进行了装饰。
1984年，获授劳动红旗勋章。1992年苏联解体后，得到俄罗斯国立高档院校的地位。
2010年4月，通过俄罗斯教诲科技部的“国家研究型大学”标准化考察。
2011年，更名为现在的“莫斯科电子技能学院”。
据官方先容：
“MIET”是俄罗斯高科技领域领先的技能大学。当代实验室、对教诲过程的全新认识以及教诲、科学和工业的独特整合，使 MIET 成为微电子和纳米电子、电信和信息技能领域培训专家的领导者。该大学是俄罗斯大学发明活动排名中最强大的三所大学之一，是莫斯科国立大学排名中排名前五的技能大学之一，也是著名的英国出版物《泰晤士报》排名前 20 位的俄罗斯大学之一高档教诲。
现在，MIET是一所拥有半个世纪历史和传统的高档教诲机构。这是一所关心学生个人和职业发展、身体发育、生理舒适、健康和安全的大学。这是未来科学家和企业家寻求支持并迈出成功第一步的地方。这是一种让毕业生对劳动力市场充满信心并在生活中实现自我的教诲。
俄罗斯研发EUV的成功概率有多大？俄罗斯的半导体芯片家当并不发达，但是并不代表俄罗斯的科技能力差。众所周知，俄罗斯拥有全天下最顶尖的数学人才，华为俄罗斯研发中央都聘请了数名顶尖俄罗斯数学家，坊间盛传当年华为3G技能的打破便是得益于一位俄罗斯数学家“小哥”的SingleRAN 算法。
因此，只管业界并不看好俄罗斯研发EVU光刻机的前景，但有着丰富技能人才的俄罗斯并不是不可能，况且，俄罗斯真金白银投资6.7亿卢布资金（约合5100万元公民币），对付发达国家来说虽然很少，但首期投入这么多资金，对付俄罗斯的薪资水平和试验设备来说是不低的。
同时，笔者Challey认为，如果俄罗斯真的投入研发，很多其他国家，譬如中国，或许会加入俄罗斯的EUV光刻机研发之中，以冲破欧美对付最前辈芯片技能的垄断。
但是，另一方面，据估计，自俄乌冲突以来，有多达7万名打算机专家被溘然涌现的商业和政治景象的冰霜所吓倒并离开了俄罗斯。
或许，俄罗斯未来须要担心的不是资金，而是人才的回流。
作者：Challey
