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打算光刻技能是芯片制造过程中最密集的事情负载之一,每年耗费CPU数百亿小时。在台积电生产过程中,两家公司共同实现了曲线流程速率提高45倍,传统的曼哈顿式流程提高近60倍。
通过运用天生式人工智能的算法,可以创建近乎完美的反向掩模或反向办理方案以考虑光的衍射。然后通过传统的严格物理方法得出终极光罩,从而将全体光学近似校正(OPC)流程的速率提高了两倍。

目前,晶圆厂工艺中的许多变革都须要修正OPC,从而增加了所需的打算量,并在晶圆厂开拓周期中造成了瓶颈。cuLitho供应的加速打算和天生式人工智能可减轻这些本钱和瓶颈,使工厂能够分配可用的打算能力和工程带宽,在设计2纳米及更前辈的新技能时供应更多新颖的办理方案。
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