我们平时用的芯片是密封在壳子里的,灰一样平常落不进去,但是芯片制造的过程中是袒露的。那有朋友说,落点灰就落点呗,别太脏就行了呗。但实际上,一个灰尘要比芯片上的电学器件大很多。
比如今年6月,有某个著名的手机厂商宣告说,要开拓2nm的芯片。什么是2nm的芯片?是芯片长宽或者厚度是2nm吗?不是。2nm指的叫“特色尺寸”,大略理解,可以理解成类似于上面电路和器件的线条宽度是2nm。那灰尘多大呢?我们常说pm2.5、pm10,这都是直径2.5微米、10微米的颗粒,1微米即是1000纳米,这灰尘一砸进来,很可能就把原来不导电的地方给弄导电了,这芯片就不能用了。以是都说眼睛里不揉沙子,实在芯片里更不揉沙子,当然,芯片的硅材料本身也算是来源于沙子。但是芯片做好了之后就不能再往里掺沙子了,不能让它上面落灰尘了。
既然芯片这么娇气,做芯片就有很多讲究了。首先是这地方讲究,不能在大街上做,风一吹全都刮跑了。芯片加工的地方,叫做“超净间”,我们平时做实验测试的叫“超净实验室”。超净实验室有不同的级别,有百级、千级、万级。什么意思?百级便是每立方米直径大于或者即是0.1微米的颗粒不超过100个。还有更高的标准,十级,不超过十个。那除了环境以外,洗濯也很主要,芯片不能被熏染。其余如果是在芯片研发的实验当中,很多都是人工去洗。做芯片用的是硅片,在硅片买回来要用之前,就得前辈行各种洗濯。

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洗濯有不同的方法,比较一个大略的方法叫做冲水洗濯,在实验室的话便是把芯片放在容器里,先冲几次,把水倒掉,然后再把它放在水龙头下面,打开水龙头用水在那里一贯冲。当然用的水也要很干净,要用去离子水。以是这挺费水的,很多科研机构的超净实验室一天水电费几千块钱是很常见的,当然芯片生产厂家就比这个更要多得多了,更多的是用自动喷淋冲洗。
还有一个洗濯叫“有机洗濯”,能洗掉大多数的有机物污染。这个有点像咱们平时洗眼镜,用超声洗濯机,当然比咱们洗眼镜的功率大,把芯片放到丙酮溶液里用超声洗濯机振荡,再用乙醇也便是酒精把丙酮溶解掉。然后再进行冲水洗濯,把乙醇冲洗掉。当然用的这个乙醇哀求纯度比较高,叫MOS级乙醇,不能拿二锅头去洗。
还有一个叫煮酸洗濯,由于它比较常用,以是我们也叫它“常规洗濯”。便是用硫酸和双氧水来煮芯片,这个煮酸洗濯英文叫piranha clean,piranha英文是食人鱼的意思,可以想象,这个洗濯方法就像食人鱼一样把各种东西都吃掉了,能洗濯掉大部分的常规污染物。不过虽然能去掉大部分的常规污染物,对钾离子去的并不彻底,而在芯片当中钾离子的影响是比较大的。以是还专门有一个洗濯方法,叫做去钾离子洗濯。实验室里用盐酸和双氧水加热来洗濯,而工业生产当中还有很多去各种离子的洗濯方法。
煮酸洗濯和去钾离子洗濯之后,都要用再进行冲水洗濯,洗过之后要用氮气枪吹干。这个过程要戴着口罩进行,否则你对着芯片咳嗽一下,就全都白洗了。当然,芯片上如果有的材料会和洗濯剂反应,就不能用这种洗濯了,比如有的材料会被酸堕落,就不能用煮酸洗濯了。以是,这些洗濯步骤每每是硅片在用之前洗濯。
实在提到的这些方法,平时生活一样平常是用不上的,比如平时洗菜不可能用浓硫酸双氧水煮一下。不过有机洗濯洗眼镜还是可以用一下的,但不要用丙酮,丙酮有一定的毒性,搞不好还把你眼睛上的塑料给溶掉了。我们用洗涤剂就行了。而冲水洗濯便是比较常见的方法了,平时洗水果确实可以放在水龙头下面一贯冲着来洗濯,不过也确实比较费水。
毕竟平时对清洁度没有哀求那么高,以是如果是强制症非要洗得特殊干净的话,欢迎来学芯片干系专业。不过如果你不是强制症的话,学了这个专业,没准也会变成强制症,比如我。不过实在这些人工操作都是实验室的方法,而在里面流汗钠离子都可能影响性能,以是现在工业生产芯片都是机器来操作。
本文为科普中国·星空操持扶持作品
作者:田埂
审核:黄永光(中科院半导体所 副研究员)
出品:中国科协科普部
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