兆易立异申请单光子雪崩探测器结构及其制作方法专利使器件可以在低电压下触发雪崩效应提高光子探测效率_折射率_类型

专利择要显示，本申请公开一种单光子雪崩探测器构造，包括衬底、埋设在衬底内的第一类型的内嵌掺杂层、第一类型的第一深阱及第二类型的第二...