气态分子污染物（AMC）对电子半导系统编制程的影响及解决筹划_污染物_气态

随着半导系统编制程技能的飞速发展，芯片线宽已经进入纳米级。半导体晶圆关键尺寸眇小化，对电子半导体清洁厂房这类分外建筑的生产环境的清...