光刻工艺重要部件—Reticle/光罩_平凡_石英玻璃 Reticle,中文称之为:光罩(别名MASK,又称掩模版)。Reticle上承载着芯片每一层的设计图形。通过光学事理,将设... 智能 2025-01-17 阅读 评论0