晶合集成申请芯片电性失落效分析专利能有效提高芯片失落效分析测试的效率及准确性_所述_晶粒

专利择要显示，本发明提出了一种芯片电性失落效剖析的方法，属于半导系统编制造技能领域，所述方法至少包括：供应一基板，包括相对设置的第...