贴膜贴出新高度 自研设备制造真空情形 做芯片领域的“贴膜大年夜师”_光刻_贴膜

总台央视 满禹廷：技能职员表示，他们的设备紧张用于给晶圆贴光刻膜，而光刻膜对自然光特殊敏感，以是须要在黄光下进行作业。

在芯片的生产过程中，有一项工艺是将光刻膜贴在晶圆上，然后通过激光照射让光刻膜产生物理及化学特性的变革，进而在表面上得到所需的图像，再通过后续工艺形成芯片电路。
如果光刻膜和晶圆之间涌现褶皱或者气泡，整张光刻膜就会报废。

广东思沃前辈装备有限公司副总经理 肖基堂：真空腔体是这台设备的核心部件，它可以在30秒内使真空度达到50帕以内，把腔体内的空气赶出来，避免气泡的产生。

除了能创造靠近真空的贴膜环境，对贴膜的对位精度以及压力的精准掌握也是这台设备的核心技能。

广东思沃前辈装备有限公司副总经理 肖基堂：我们采取高清图像识别技能实现1微米至2微米的线路制作。
晶圆越做越薄，相比拟较薄弱，在生产过程中我们要把稳压力的精准掌握以防止裂片的产生。

据理解，目前该设备的产速为每小时60片到75片旁边，比较行业均匀水平有约15%的效率提升。

本期专精特新·绝活：贴膜贴出新高度，自研设备制造真空环境，让气泡和褶皱不再成为晶圆贴膜的行业痛点，做芯片制造领域的“贴膜大师”。