和舰芯片取得红外测温系统专利提升产品品格并避免损失扩大_暗记_旗子

专利择要显示，本实用新型公开了一种用于机台的红外测温系统，其包括：监测模块，所述监测模块由红外温度传感器、旗子暗记处理器和警报模块组成，所述红外温度传感器设置于处理腔室顶部的传送不雅观察窗处，用于实时监测晶圆温度，天生电旗子暗记并传输至旗子暗记处理器，所述旗子暗记处理器将电旗子暗记转换成触发旗子暗记并传输至所述警报模块；掌握模块，所述掌握模块与所述监测模块通信连接，并设置为用于实时监测晶圆温度，当晶圆温度大于预设值时，掌握机台停滞产品植入。
本实用新型利用红外测温系统实时监控晶圆温度，实现当晶圆温度非常时，停息传送，停滞后续产品植入并发出非常警报，从而及时处理机台非常情形，提升产品的品质，避免丢失扩大，提高了经济效益。

本文源自金融界