台积电取得光学检查设备专利可资助改进半导体芯片的缺陷侦测_半导体_芯片

专利择要显示，本实用新型供应一种用于使半导体芯片处理合格的光学检讨设备，包括：照明模块、网络模块及图像处理器。
照明模块产生具有处于第一波段及第二波段中的波长的光源光对半导体芯片进行照明。
网络模块包括第一图像传感器及第二图像传感器，第一图像传感器吸收自半导体芯片反射的处于第一波段中的光，而第二图像传感器吸收自半导体芯片反射的处于第二波段中的光。
图像处理器处理半导体芯片的第一图像且处理半导体芯片的第二图像，以基于毛病计数的预定值来使半导体芯片合格。
本实用新型可帮助改进半导体芯片的毛病侦测。

本文源自金融界