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据国际半导体家当协会(SEMI)数据显示,光刻胶市场占到晶圆制造材料总市场份额的7%旁边。2021年,环球在集成电路、新型显示、PCB(PrintedCircuit Board印制电路板)三个运用领域利用光刻胶市场规模66.41亿美元。
光刻胶(Photoresist)是一类对辐照敏感,由碳、氢、氧等元素组成的有机高分子化合物。在个中含有一种可以由特定波长的光引发化学反应的感光剂(PAC:Photoactive compound)。光刻胶对黄光不感光,以是半导体光刻工艺车间都利用黄光照明。

按照曝光后化学反应事理和溶解度变革分类,光刻胶可以分为正性光刻胶和负性光刻胶。(如下图所示,UV辐射下,正胶和负胶留下的图形不相同)。

(图片来自网络侵删)
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