三安半导体项目芯片厂房封顶可达“百级”清洁度_干净_芯片

文章目录 [+]

培植方中建五局三公司先容,该项目紧张包含碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器件封装等厂房及干系配套举动步伐培植。
项目全面建成投产后，将形成碳化硅研发和生产百口当链两条生产线，生产可广泛用于新能源汽车、高铁机车、航空航天和无线（5G）通讯等的高质量、低本钱、高稳定性碳化硅衬底及各种器件。
全部建成后估量可实现年产值120亿元以上，并可带动高下游配套家当产值估量超1000亿元。

“项目紧张做事于技能密集型的半导体家当。
半导体生产对空气清洁度有高哀求。
这次培植的芯片厂房达‘百级’清洁度。
”中建五局三公司项目卖力人周祥说。

三安半导体项目芯片厂房封顶可达“百级”清洁度_干净_芯片三安半导体项目芯片厂房封顶可达“百级”清洁度_干净_芯片科学

所谓“百级”清洁，即每立方英尺空气中粒径大于即是0.5微米的粒子数量不超过100个，堪比最高清洁等级手术室标准。
项目技能卖力人陆建臻表示，为担保“百级”清洁，芯片厂房采取华夫板（利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板）高精度施工，并建立清洁空调透风系统形成回风通道。
芯片厂房华夫板厚度70厘米，可抗微震；华夫板面积达1410平方米，个中浇筑有35000个直径35厘米的奇氏筒，相称于每2平方米就有5个用于换气的圆形孔洞。
届时，芯片产线支配于华夫板上，整车间利用新风系统进气担保正压，并通过华夫板回风通道排气，终极担保车间清洁度。