永鼎股份申请芯少焉蚀工艺相关专利有效担保芯少焉蚀效果和效率_模块_在线

专利择要显示，本发明属于芯少焉蚀管理技能领域，详细是一种芯片的刻蚀工艺在线识别方法及系统，个中，该系统包括处理器、刻蚀监控模块、在线处理识别模块、反馈掌握模块、掌握监管模块和显示预警模块；本发明通过刻蚀监控模块对芯片的刻蚀过程进行实时监控拍摄，在线处理识别模块识别出当前的刻蚀工艺状态，反馈掌握模块对芯片的刻蚀过程进行实时反馈掌握，掌握监管模块将反馈掌握模块的掌握表现进行检测剖析，有效担保针对芯少焉蚀的刻蚀效果和刻蚀效率，且能够对监控摄像非常状况进行逐步评估，以及合理判断相应芯少焉蚀工艺产线的管控风险性并精准评估相应产线的巡检实行表现状况，智能化和自动化程度高。

本文源自金融界