投资者：公司为海内半导体设备打破做了哪些贡献？是否与华为有互助？董事长及公司增持的目的？
至纯科技董秘：您好，公司在半导体湿法设备方面已实现了被国外垄断的技能难度较高机型的生产，已交付海内头部客户并已有较好的量产指标。我们与海内一线客户均有互助，华为也是我们的主要客户之一。公司及董事长增持是基于对公司未来的信心以及掩护广大股东利益而做出的实际努力。
投资者：董秘您好，烦请详细先容下贵公司的Backsideclean（晶背洗濯）工艺以及公司在海内的市场地位情形！
感激！
至纯科技董秘：您好，Backsideclean（晶背洗濯）工艺是在芯片制造工艺中相称主要的湿法工艺。半导体生产过程中，对付污染是很重视的，尤其是金属污染。一旦有金属污染将丢失巨大。半导体生产设备中，最高单价的便是光刻机，晶圆背面洗濯的功能便是将背面的金属污染物打消，把颗粒洗净，让晶圆以最佳状态进入光刻机，避免光刻机因晶圆背面毛病问题(金属和颗粒)而停机。晶圆背面洗濯的主要性及步骤数量随着工艺进步和金属层的增加而增加。目前海内晶圆厂商用的最多的是由外洋大厂制造的机台，而公司目前已实现Backsideetch（背面蚀刻）功能，达到客户的验收标准。通过背面单片机台洗濯后，可实现较少的剩余颗粒，同时金属污染可掌握在较低水平。目前产品的各项工艺指标可对标国际大厂设备指标。
投资者：董秘您好！
公司入选专精特新“小巨人”操持，叨教：1.在进入“小巨人”操持时紧张关注审核哪些指标、尤其是创新指标呢？在公司入选后，对这些指标进行了若何的经营支配呢？2.公司入选“小巨人”操持以来，研发投入、各种专利申请和各种专利引用量得到情形是若何的？增长了吗？3.工信部的三年复核政策，公司是如何解读、以及若何应对的呢，和申请重点是否有差异？4.对付复核结果，如何看待以及未来若何调度？
至纯科技董秘：您好，公司有五家子公司为专精特新小巨人企业，公司干系部门会按照报告哀求及重点指标，结合各公司的实际情形履行，并每两年进行复审。
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