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专利择要显示,一种双层钝化层、LED芯片及其制作方法,本发明的双层钝化层,作为客体的保护膜;客体包括客体本体和设置于客体本体第一表面的至少一个露出部;双层钝化层包括第一钝化层和第二钝化层。对第一钝化层进行均匀化退火处理,能够细化晶粒,减少膜层内部的孔隙、位错等毛病,增加第一钝化层的致密度,提高客体的防潮能力,增大膜层的增透性,增大光效。第二钝化层层叠于第一表面区域延伸至露出部的侧壁,将第一钝化层与露出部打仗的位置包裹,进一步阻挡水汽的渗入提高可靠性。设置多层钝化层会增大光学消耗,第二钝化层仅层叠于第一表面区域而不覆盖第一钝化层的第二表面区域,在提高可靠性的同时,能够降落第二钝化层对光学性能的影响。
本文源自金融界

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