中心领导同道明确指出,关键核心技能是要不来、买不来、讨不来的。只有把关键核心技能节制在自己手中,才能从根本上保障国家经济安全、国防安全和其他安全。
国家须要便是科研方向。中国电子科技集团有限公司下属中电科电子装备集团有限公司的科研团队勇挑义务,高下同心、协力攻坚,通过苦研算法、反复推演、耐心验证,终于成功研发出海内首台拥有完备自主知识产权的200毫米CMP商用机,经严格的“马拉松”测试,上线集成电路大生产线,被认为可以媲美国际同类设备。
电科装备党委高度重视CMP研制事情,多次召开专题会议研究推进,并勉励团队厚植原始创新能力,加快打破制约家当链供应链安全稳定的“卡脖子”技能,打好关键核心技能攻坚战。

项目团队迎难而上,全力推进CMP设备技能攻关,持续缩小与国际领先水平差距,并已经取得了丰硕成果:200毫米CMP设备海内市场霸占率80%、300毫米CMP设备累计流片数万片,CMP设备发卖收入、利润均远超去年同期……
以点带面,在CMP设备之外,电科装备持续输出国产化妆备“硬核”成绩单:环绕家当链支配创新链,在高端装备领域形成了高端显示、光伏新能源、动力电池材料等泛半导体装备局部成套和集成做事能力—— 实现中束流、大束流、高能、特种运用及三代半导体离子注入机全系列产品创新发展;全系列晶圆洗濯干燥技能达到国际前辈水平;瞄准光器件“卡脖子”难题,研制的全自动多芯片共晶贴片设备成功补充海内空缺;拥有完备自主知识产权的国产减薄设备,在海内大尺寸硅材料片领域实现全系列化运用……
电科装备领导表示,没有自主自强的集成电路制造装备,就没有我国集成电路的未来。为挺起集成电路高端装备自主自强的“脊梁”,电科装备将踔厉奋进、步履不止。