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单个芯片与整片晶圆之间外形的方圆之别---详解_晶圆_芯片

南宫静远 2025-01-23 18:03:07 0

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硅片为什么要做成圆的?为什么是“晶圆”,而不做成“晶方”?为什么有的晶圆外圈是没有芯片的,而有的晶圆电路铺盘整片硅片,晶圆外圈也会涌现不完全的芯片呢?

熟习半导系统编制造流程的朋友知道,芯片在切割封装之前,所有的制造流程都是在晶圆(Wafer)上操作的。
不过我们见到的芯片都是方形的,在圆形的晶圆上制造芯片,总会有部分区域没有利用到。
所以为什么不能利用方形的晶圆来增大利用率呢?

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实在这个问题很好回答,由于晶圆(刚开始是硅片)是在圆柱形的硅棒上切割出来的,以是横截面只能是圆形。

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(图片来自网络侵删)

接下来我们从硅片与晶圆的制造过程开始,一起探索知足好奇。

晶圆比 “晶方”更适宜做芯片

硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤:硅提炼及提纯、单晶硅成长、晶圆成型。

首先是硅砂的提纯及熔炼。
这个阶段紧张是通过溶解、提纯、蒸馏等一系列方法得到多晶硅。

接下来是单晶硅成长工艺。
便是从硅熔体中成长出单晶硅。
高纯度的多晶硅放在石英坩埚中,在保护性气氛中高温加热使其熔化。
利用一颗小的籽晶缓慢地从旋转着的熔体中缓慢上升,即可垂直拉制出大直径的单晶硅锭。

末了一步是晶圆成型。
单晶硅锭一样平常呈圆柱型,直径从3英寸到十几英寸不等。
硅锭经由切片、抛光之后,就得到了单晶硅圆片,也即晶圆。

换句话说,我们常常调侃,芯片实质上是一堆沙子,这句话并没有说错。
制造芯片的根本——单晶硅就从石英砂中制取的。

从沙子变成芯片的关键,在于硅的提纯与单晶硅制备工艺的发展。
1916年,波兰化学家柴可拉斯基通过实验验证了金属线由金属单晶构成,且单晶体的直径达到毫米级。
此后该方法经由化学家的不断迭代,终极制成了单晶硅,这种方法也被称为柴可拉斯基法或直拉法。

柴氏法(直拉法)

直拉法的过程是先在坩埚中将高纯硅加热为熔融态,再将晶种(籽晶)置于一根精确定向的棒的末端,并使末端浸入熔融状态的硅,然后将棒缓慢向上提拉并旋转。
通过对提拉速率、旋转速率与温度的精确掌握,就可以在棒的末端得到一根较大的圆柱状单晶硅棒,后续再对硅棒进行打磨、抛光、切割等工序后,就能得到一片可用的圆形的硅片了。
以是说,晶圆的圆是由于硅棒“圆”。

在硅棒上切口

目前,直拉法是成长晶圆最常用的方法了,除了直拉法之外,常用的方法还有区熔法。

区熔法,简称Fz法。
1939年,在贝尔实验室事情的W·G·Pfann 最先萌生了“区域匀平”的动机,后来在亨利·休勒 、丹·多西等人的帮忙下,成长出了高纯度的锗以及硅单晶,并得到了专利。

这种方法是利用热能在半导体多晶棒料的一端产生一熔区,使其重结晶为单晶。
使熔区沿一定方向缓慢地向棒的另一端移动,进而通过整根棒料,使多晶棒料成长成一根单晶棒料,区熔法也须要籽晶,且终极得到的柱状单晶锭晶向与籽晶的相同。

区熔法分为两种:水平区熔法和立式悬浮区熔法。
前者紧张用于锗、GaAs等材料的提纯和单晶成长;后者紧张用于硅
区熔法与直拉法最大的不同之处在于:区熔法一样平常不该用坩锅,引入的杂质更少,成长的材料杂质含量也就更少。

总而言之,单晶硅棒是圆柱形的,利用这种方法得到的单晶硅圆片自然也是圆形的了。

实在硅棒在切片之前可以先切割发展方体,这样后续切片时就能直接得到“晶方”。
不过用光降盆芯片的硅棒不会这样做,缘故原由有以下几个:

首先是圆形更适宜进行光刻涂胶。

此外,由于边缘应力的存在,圆形晶圆的构造强度也高于方形。
硅片在变成晶圆之前须要进行多次光刻、刻蚀、化学研磨等过程,晶圆会在外圈积累较多应力。
因此方形的尖角会造成边缘应力集中,在生产过程中极易破损,影响整体良率。

有细心的朋友可能会创造,为什么有的晶圆外圈是没有芯片的,而有的晶圆电路铺盘整片硅片,晶圆外圈也会涌现不完全的芯片呢?

晶圆外圈各不相同

这实在和光刻中的光掩膜(Mask,或称遮光罩、光刻版)尺寸有关。
光掩膜大小常日会覆盖晶圆的所有区域,因此在晶圆边缘处会涌现不完全的小方格。
此外,在芯片制造工艺中,晶圆是不断加厚的,尤其是后段的金属和通孔制作工艺,会用到多次CMP化学机器研磨过程。
如果晶圆边沿没有图形,会造成边缘研磨速率过慢,带来的边沿和中央的高度差,在后续的研磨过程中又会影响相邻的完全芯片。

绿圈是晶圆面积,红圈内是可用部分

不过晶圆外圈的芯片一样平常是不会用的。
上文提到,由于生产流程的关系,晶圆外围一定会有一部分应力存在,在这里生产出来的芯片,内部同样会留存应力,后续的切割、封装、运输过程中也有更大的概率造成芯片破坏。
这也是有的晶圆外圈有芯片,有的没有的缘故原由。

总的来说,圆形的晶圆更便于芯片制造,良率较高。
既然用来制造芯片的晶圆未便利做成方形的,那为什么芯片不能做成圆形的呢?

圆形的芯片实在更难制造

硅片在经由涂胶、光刻、刻蚀、离子注入等步骤后,一颗颗芯片才会被制造出来,不过此时芯片还是“长”在晶圆上的,须要经由切割才能变成一颗颗单独的芯片。

方形的芯片仅需几刀就可以全部切下。
圆形的芯片,恐怕就要耗费比方形几倍的韶光来切割了。
最主要的一点,圆形芯片并不能办理硅片面积摧残浪费蹂躏的问题。

圆形排列会有缝隙

实在节约晶圆面积始终是一项主要课题。
晶圆上能生产的芯片越多,生产效率就越高,单颗芯片的本钱也越低。
目前办理生产效率的最好方法便是提高晶圆面积,也便是我们熟习的微积分。

晶圆越大,空余面积越小

方形的光伏硅片

硅片除了可以制作芯片外,在光伏领域也是极其主要的部分。

太阳能电池板构造(电池片即为硅片)

光伏单晶硅的制备过程的前期与芯片单晶硅相同,采取方形的缘故原由同样很大略,如果光伏电池是圆形的,多个电池排列成太阳能电池板中间就会涌现空隙,降落了整体转化率。

与芯片比较,制造光伏板对硅纯度的哀求要稍低,纯度标准只须要99.9999%,达不到制作芯片的99.999999999%。

半导体硅片与光伏硅片差异

总 结

回答一下标题提出的问题,芯片为什么是方的?圆形芯片难以切割,后续封装阶段也未便利掌握,最主要的是,圆形芯片不能办理晶圆面积摧残浪费蹂躏的问题。
为什么晶圆是圆的?在生产芯片的过程中,圆形晶圆由于力学成分生产更方便,良率更高,且硅棒天然是圆柱型,晶圆自然也便是圆形了。
不过在光伏领域,方形硅片在电池封装时不会摧残浪费蹂躏空间,以是光伏硅片采取方形。

参考资料:

晶圆的边缘为什么要“铺满”电路?

https://www.zhihu.com/question/22961633

半导体系列之原材料——硅片

https://mp.weixin.qq.com/s/JauLPXCagbVhcU3Tuhqdwg

维基百科:柴可拉斯基(Jan Czochralski)

https://en.wikipedia.org/wiki/Jan_Czochralski

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