走进位于金桥出口加工区的中微公司，就要换上公司供应的皮鞋，这家精密制造企业哀求六根清净。在清洁室门外，解放日报·上不雅观新闻看到身穿白色事情服、戴着白帽子和口罩的研发职员，正在测试一台大型设备，它便是环球屈指可数的5纳米刻蚀机。只见一片片300毫米大硅片被机器手抓起，放入真空反应腔内，开始了它们的刻蚀之旅。“多种气体会进入真空反应腔，经由化学反应变成等离子气体，随即产生带电粒子和自由基，与硅片发生化学物理反应。”中微首席专家、副总裁倪图强博士说，这些化学物理反应在硅片上开槽打洞，形成令人叹为不雅观止的微不雅观构造——一块指甲盖大小的芯片，可集成60多亿个晶体管。
方寸间近乎极限的操作，对刻蚀机的掌握精度提出很高哀求。据倪图强先容，刻蚀尺寸的大小与芯片温度有逐一对应关系，中微自主研发的部件使刻蚀过程的温控精度保持在0.75摄氏度内，达到国际领先水平。气体喷淋盘是刻蚀机的核心部件之一，中微和海内企业联合开拓出一套创新工艺，用这套工艺制造的金属陶瓷，其晶粒十分风雅、致密。与入口喷淋盘比较，国产陶瓷镀膜的喷淋盘利用寿命延长一倍，造价却不到五分之一。
创新成功的窍门是什么？2004年，尹志尧博士与杜志游博士、倪图强博士、麦仕义博士等40多位半导体设备专家创办了中微公司。当时，天下上最前辈的芯片生产线是90纳米制程，但中微创立之初就开始研发40纳米刻蚀机，由于他们深知，集成电路家当技能迭代很快，必须超前两代开展自主研发。90纳米的下一代是65纳米，再下一代便是40纳米。拥有国际化团队，也是成功的一大缘故原由。经由外洋引进和本土培养，中微600多名员工来自十多个国家和地区。而且公司的研发团队十分完全，200多人的专业背景覆盖30多门学科，为刻蚀机研发这一系统工程奠定了根本。
凭借自主创新，中微已申请1200多件国内外专利。“由于有大量专利保护，我们已经历4次与西方国家企业的知识产权诉讼，未尝败绩。”公司副总裁曹炼生见告。今年1月，国家知识产权局专利复审委基于中微提交的证据，认定纳斯达克上市公司维易科的一件发明专利无效。此后，中微经历的第三次诉讼以和解告终——他们和维易科分别在福建和纽约撤诉，握手言和。
“刻蚀机曾是一些发达国家的出口牵制产品，但近年来，这种高端装备在出口牵制名单上消逝了。”倪图强表示，这解释如果我们打破了“卡脖子”技能，出口限定就会不复存在。如今，中微与泛林、运用材料、东京电子、日立4家美日企业一起，组成了国际第一梯队，为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。明年，台积电将率前辈入5纳米制程，已通过验证的国产5纳米刻蚀机，估量会得到比7纳米生产线更大的市场份额。
栏目主编：黄海华 笔墨编辑：俞陶然 题图来源：视觉中国 图片编辑：朱瓅
