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片式真空等离子清洗机:双工位处理平台有效提升半导体封装效率_芯片_工艺

admin 2024-10-18 06:08:52 0

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DB工艺前等离子处理

芯片键合(Die Bonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。
其目的在于为芯片供应一个稳定的支撑,并确保芯片与外部电路之间的电气和机器连接。
常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。

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在点胶装片前,基板上如果存在污染物,银胶随意马虎形成圆球状,降落芯片粘结度。
因此,在DB工艺前,须要进行等离子处理,提高基板表面的亲水性和粗糙度,有利于银胶的平铺及芯片粘贴,提高封装的可靠性和耐久性。
在提升点胶质量的同时可以节省银胶利用量,降落本钱。

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(图片来自网络侵删)

WB工艺前等离子处理

芯片在引线框架基板上粘贴后,要经由高温使之固化。
如果芯片表面存在污染物,就会影响引线与芯片及基板间的焊接效果,使键合不完备或粘附性差、强度低。
在WB工艺前利用等离子处理,可以显著提高其表面附着力,从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性,提升WB工艺质量。

WB工艺前处理运用案例

Flip Chip (FC)倒装工艺等离子运用

在Flip Chip(FC)倒装工艺中,将称为“焊球(Solder Ball)”的小凸块附着在芯片焊盘上。
其次,将芯片顶面朝下放置在基板上,完成芯片与基板的连接后,常日须要在在芯片与基板之间利用添补胶进行加固,以提高倒装工艺的稳定性。

通过等离子洗濯可以改进芯片和基板表面润湿性,提高其表面附着力,进而影响底部添补胶的流动性,使添补胶可以更好地与基板和芯片粘结,从而达到加固的目的,提高倒装工艺可靠性。

片式真空等离子洗濯机

针对半导体行业,DB/WB工艺、RDL工艺、Molding工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺等,能够大幅提高其表面润湿性,担保后续工艺质量,从而提高封装工艺的可靠性。

设备上风:

一体式电极板构造设计,等离子体密度高,均匀性好,处理效果佳

双工位处理平台,四轨道同时上料,有效提升产能

可兼容多种弹匣尺寸,可自动调节宽度,提升效率并具备弹匣有无或装满报警提示功能

工控系统掌握,一键式操作,自动化程度高

行业运用:

金属键合前处理:去除金属焊盘上的有机污染物,提高焊接工艺的强度和可靠性

LED行业:点银胶、固晶、引线键合前、LED封装等工序中可提高粘和强度,减少气泡,提高发光率

PCB/FPC行业:金属键合前、塑封前、底部添补前处理、光刻胶去除、基板表面活化、镀膜,去除静电及有机污染物

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