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从一粒沙子到一枚芯片的奇妙旅程_光刻_晶体管

南宫静远 2025-01-18 20:08:48 0

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从沙子到单晶硅锭

半导系统编制造业的根本因此二氧化硅(SiO₂)形式存在的硅元素,而沙中正好富含二氧化硅。
制造微处理器须要至纯至净的硅质料,以是必须对网络到的精度硅质料在高温下整形、多次提纯,才能得到电子级硅(EGS)。
采取旋转拉伸的办法得到一个圆柱体的单晶硅锭。
单个单晶硅锭的重量约为100公斤,硅纯度为99.9999%。

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单晶硅锭(打算所"大众年夜众科学日展品)

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(图片来自网络侵删)

从单晶硅锭到晶圆

将单晶硅锭横向切割成圆形的单个硅片,也便是我们常说的晶圆(Wafer)。
切割出的晶圆经由抛光后变得险些完美无瑕,表面如镜面般清洁平整。

抛光晶圆(打算所"大众年夜众科学日展品)

光刻

首先涂光刻胶,光刻胶是一种在光照后能具有抗蚀能力的高分子化合物,用于在半导体基件表面产生电路的形状。
蓝色部分便是在晶圆旋转过程中浇上去的光刻胶涂层。
光刻胶随即被曝光在紫外线之下,并变成可溶的。
这个步骤的关键环节是“掩膜”,它的浸染类似于刻蚀时用的模具,通过紫外线,掩膜会在处理器的每一层形成各种各样的电路图案。

光刻演示模型(打算所"大众年夜众科学日展品)

晶体管的制作

从现在开始,让我们进入50-200纳米晶体管级别的微不雅观天下,聚焦单个晶体管及其它部件的制作过程。

刻蚀

为了创建三门的晶体管,一种硬掩模材料(深蓝色部分)被运用在光刻过程中,曝光后,大部分粘质的光刻胶都利用溶液溶解掉了。
这时,掩膜留下的光刻胶图案就显现出来了(绿色长方体)。

形成临时门电路

利用光刻步骤,晶体管的部分被光刻胶覆盖,并且通过将晶圆插入充氧的管式炉中天生二氧化硅层薄片(赤色),这就形成了临时的栅极电介质。
再次利用光刻步骤,在表面创建了临时多晶硅层(黄色部分),这便是一个临时栅电极。
接着通过氧化步骤中在全体晶片上形成二氧化硅层(赤色透明层)以使该晶体管与其他元件绝缘。

形成金属门电路

利用掩模的方法将临时栅电极和栅极电介质被蚀刻掉,利用“原子层沉积”的方法将各个分子层(黄色部分)施加到晶片的表面。
利用光刻步骤,将高k材料从不须要的区域蚀刻掉。
在晶片上形成金属栅电极(蓝色部分),并利用光刻步骤去除栅电极以外的区域的材料。
与传统的二氧化硅/多晶硅栅极比较,这种与高k材料(薄黄色层)的结合使晶体管性能更好,电流泄露更少。

金属沉积

晶体管上方的绝缘层(赤色)蚀刻了三个孔,这三个孔将添补铜或其他材料,之后这一晶体管将通过这些材料与其他晶体管连接。
晶圆被放入硫酸铜溶液中,通过电镀将铜离子沉积到晶体管上。
铜离子会沉积在晶圆的表面,形成薄薄的铜层。

晶体管模型(打算所"大众年夜众科学日展品)

形成金属电路层

打磨掉多余的材料,至此,单个晶体管就已经基本完成。
接着创建多层金属层,将多个晶体管连起来。
详细的连接办法因不同的处理器而异。
打算机处理器表面看起来非常平滑,但实际则可能包含了20多层繁芜的电路。
在放大镜下才能看到错综繁芜的电路和晶体管网路,就像是迷你的多层高速公路系统。

光刻后的晶圆(打算所公众科学日展品)

切割芯片

对终极得到的晶圆进行测试后,将晶圆切割成片,每一块便是一个处理器的内核。

切割后的芯片(打算所"大众年夜众科学日展品)

封装芯片

将衬底、晶片、散热片整合在一起,就形成了一个完全的处理器。

封装后的处理器(打算所"大众科学日展品)

组装成机器人

将CPU以及机器人的其他部件组装到一起,机器人就可以完身分歧的事情任务。

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