3D IC测试的两个紧张目标是提高预封装测试品质,以及在堆叠芯片之间建立新的测试。当然,对付二维(2D)芯片(KGD)的高品质测试是测试三维(3D)堆叠的基本条件条件。业界如今已能有效节制与理解这些问题,而且也存在良好的办理方案。有几种办理方案可分别用于测试堆叠在逻辑模组上的存储器和堆叠在存储器上的存储器。然而,逻辑模组与逻辑模组(logic-on-logic)堆叠的3D测试仍旧处于起步阶段。
为了知足一系列的3D测试需求,业界一贯在积极努力完成或更新多种现有的测试标准,包括:
•IEEE 1149.1 (JTAG),广为人知的测试存取标准
•IEEE 1687 (IJTAG),较新的IP存取方法
•IEEE P1838,针对多个个芯片之间的3D互通性以及与其他标准连接而提出的标准
•JEDEC标准,如Wide I/O存储器测试的JESD226
3D芯片级测试品质意味著什麽?
在进行3D测试之前,晶圆首先要经历晶圆测试;有些芯片可通过测试,另一些则否。通过测试的裸晶连续进行封装,然后进行封装测试,在这些环节还会创造更多(在上次测试时未创造的)不合格件(如图1)。
图1:传统晶圆和封装测试的比较
就测试方案本身来说很平凡。然而,一旦开始将多个裸晶封装在一起,那些先前从晶圆级测试中「逃脱」的少量裸晶会让你丢弃更多的封装元件(图2)。
图2:3D堆叠IC的晶圆与封装测试比较
这就会带来很大的问题。笔者做了一些打算:如果裸晶毛病覆盖率是95%,则10层芯片堆叠的终极封装良率将会是60%。显然地,如果5%的逃脱率导致40%的终极产品被丢弃,这并不是我们希望看到的。这裡的关键是3D封装须要非常高品质的晶圆级测试,以便只有「良品裸晶」被封装在一起。
除了知足高品质的良品裸晶哀求之外,3D测试还须要已知合格的中介层、部份堆叠测试、硅穿孔 (TSV)和封装测试。单独利用传统「自动测试模式产生」(ATPG)的路子已成为过去。嵌入式测试压缩和逻辑内建自测试(BIST)的组合供应最好的性价比(图3)。
图3:嵌入式测试压缩和逻辑内建自测试组合的优点
逻辑内建自测试元件使系统自我测试成为可能,这对付汽车或医疗运用的IC尤为主要。添加单元内(cell-internal)和非传统失落效模型(fault models)则能够使设计中数位逻辑元件的测试品质达到可接管的程度。当然,你还须要测试嵌入式IP、I/O以及TSV。为了存取和测试嵌入式IP,IEEE 1687 IJTAG 供应了用于整合异质IP的IP和测试模式重用(pattern reuse)方法。乃至有工具已经可以自动化许多设计和测试任务来增援IJTAG方法。
对付I/O和TSV,由于无法担保与ATE的电气打仗,测试必须在「非打仗」形式下进行。这是一个有待研究的领域;个中一种有趣的做法是利用边界扫描路子,为部份封装的元件进行晶圆级测试,以及封装内芯片之间的互连测试。
如何测试堆叠芯片?
测试3D IC意味著透过单点存取堆叠中的每个裸晶。专用的TSV被用于传输芯片之间的测试讯号,而每个裸晶上都具有用于掌握测试资料在堆叠内高下传输的硬体构造。为了实现这一点,我们须要一个标准架构增援来自多个供应商的异质芯片。正在制订的IEEE P1838标准正是为此而设。须要指出的是,1838相容的芯片在设计上并不是「随插即用」型,由于该标准只针对可测试设计(DFT)架构,而非封装、机器和电气互连属性。
测试外部DRAM或堆叠存储器
目前,3D和2.5D封装常用于逻辑芯片上或逻辑芯片旁中介层上堆叠外部存储器。存储器常日是遵照标准协定的DRAM(但现在其它存储器类型彷佛也逐渐得到支持)。我们开拓了一个测试介面,藉由通过其JEDEC标准功能接脚来存取外部Wide I/O DRAM。3D IC存储器内建自测试包含了实体介面逻辑(PHY),并且位于逻辑芯片内,紧连着存储器掌握器,恰好位于PHY及其关联的外部存储器(图4)之前。
图4:测试外部存储器
在封装中利用外部存储器的上风在于:可以出于本钱或品质的考量改换来自不同供应商的存储器(也称为「第二来源」)。如果第二来源芯片遵照相同的标准,例如Wide I/O,那麽它在3D封装中也该当运行良好。存储器脚位和操作必须在不同供应商之间保持不变。当然,存储器单元的内部实体佈局可以有所变革。在这种情形下,纵然实体佈局未知,您依然可以在存储器内建自测试期间利用伪乱数资料(pseudo-random data)演算法来检测存储器的临近模式敏感故障(NPSF)。您可以将新的演算法载入软可编程存储器内建自测试掌握器中,以备进行更具针对性测试的需求,而无需修正设计。
总而言之,在充份理解3D测试所面临的寻衅后,更能节制大多数3D IC测试所需的现成办理方案。重点在于:3D IC测试的根本是极高品质的晶圆级测试。我们仍旧须要逻辑模组到逻辑模组的测试办理方案,其紧张寻衅是在利用各自的事情频率下,如何同步裸晶之间的测试。IEEE P1838 标准完成后,将大幅办理这一问题。在3D或2.5D中测试存储器,就像测试外部DRAM或Wide I/O存储器一样。