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除此之外,五端器件是在四端器件根本上,增加深阱工艺,将体端和衬底隔离,至此形成D、G、S、B和Substrate。由于体端与衬底分开,在电路中可以针对体端施加不同电压,得到不同性能。第一,增加隔离浸染;第二,体端电压和源泄电压不一致,可以通过体效应(Body Effect)来改进器件特性,比如在体端施加负值,可以增加阈值电压,降落Leakage电流;或者施加正值,降落阈值电压,减小漏功耗,增加事情电流,提高事情速率。以上这条件是通过增加N阱工艺而得到的,本钱也增加。