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专利择要显示,本实用新型公开一种 MEMS 器件的应力隔离封装构造,包括封装管壳、MEMS 芯片、呈“T”字形、倒“T”字形或“工”字形的应力隔离基板、粘片胶和封装盖板,MEMS 芯片通过应力隔离基板和粘片胶固定在封装管壳内,MEMS 芯片的压焊块通过键合引线与封装管壳的内焊盘连接,将 MEMS 芯片的电旗子暗记引出。本实用新型采取呈“T”字形、倒“T”字形或“工”字形的应力隔离基板,并将这种应力隔离基板通过粘片胶与封装管壳和 MEMS 芯片分别粘接,利用应力隔离基板凸点打仗面积小的特点,减少了通报至 MEMS 芯片的应力,实现低应力封装,提高产品的性能。
本文源自金融界

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