近年来,随着电子行业的快速发展,电子气体在半导体行业中的地位日益突出。电子特种气体在集成电路制造中运用广泛,涉及很多制造环节。个中,惰性气体紧张用作保护气体,常用于高温烘烤或洗濯过程中,如氮气、氩气、氦气等。
作为集成电路制造的关键材料,随着下贱工业技能的快速迭代,电子特种气体的风雅化程度不断提高,尤其是在纯度和精度方面。比如纯度方面,一样平常工业气体哀求在99.99%旁边,但在前辈集成电路制造过程中,哀求气体纯度在6N(99.9999%)以上。
集成电路家当是前辈制造业的根本家当,下贱运用覆盖汽车、通信、电器、打算机、航空航天、军工、光伏等紧张行业。半导体集成电路技能的进步和家当的发展,催生和推动了物联网、人工智能、大数据、工业互联网等新兴家当。
说到集成电路,就不得不提“硅”。硅是集成电路生产中最主要的原材料,硅片市场约占全体半导体材料市场的三分之一。目前,90%以上的集成电路芯片都因此硅片为衬底的。可以说,硅是集成电路的承载根本。
在集成电路制造过程中,常常会用到高纯电子气体,如N2、H2、O2、Ar、he等,常用于高温热退火、保护气体、洗濯气体等。此外,硅生产设备的单晶炉也离不开惰性气体。单晶炉是在惰性气体(紧张是氮气和氦气)环境下,用石墨加热器熔化多晶硅等多晶材料,用提拉法成长无位错单晶硅的一种设备。在单晶硅的实际生产中,它对掌握硅晶体的温度和质量起着关键浸染。
电子气体的利用也不是为所欲为的,不同的利用环境对浓度有不同的哀求。这就须要对电子特气浓度进行监测,工采网技能工程师推举利用热导式气体传感器来检测电子特气浓度。工采网代理的多个品牌的热导式气体传感器如以下几款:
德国HLP 热导式气体传感器 - TCS208F,采取前辈的 MEMS 加工技能生产,利用被测组份和参考气体的热导系数不同而相应的浓度型传感器。
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2601,基于帕拉尼事理的真空度检测,须要超低功耗,龟龄命和免掩护。
荷兰Xensor 高速相应热导式气体传感器 - XEN-5320-ALU,传感器探头外露,相应速率超快,T90相应韶光< 1 s,可用于医疗、R&D和工业环境中,氢气H2、氦气He、二氧化碳CO2、氮气N2及甲烷CH4气体稠浊的监控和透露检测。