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知识星球里的学员问：ASML的光刻机有哪些型号，最近要做干系的报告，麻烦帮忙总结下。
ASML，全名 ASML Holding NV,荷兰跨国公司，成立于 1984 年。是半导体行业最大的设备供应商，也是环球唯一一家生产极紫外光刻机(EUV) 的厂商。
如上图，ASML的光刻机经历了几个阶段：
（图片来自网络侵删）
PAS 2000：首次引入自动步进对准技能。
PAS 5000：提高分辨率和叠层精度。
PAS 5500，1991年发布：实现扫描式光刻，提升生产效率。
Twinscan XT,NXT ：双事情台技能，显著提高WPH。
Twinscan NXE EUV，2013年推出：采取极紫外光刻（EUV），支持亚20 nm制程节点。
根据型号不同我单独做了一个表格：
由于事情量巨大，只上传了G线，i线系列，下一期会将Twinscan中常见的ArF浸没式，EUV光刻机罗列出来。
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