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芯片研发有多灾?X射线光刻技能团队取得重大年夜打破_光刻_射线

萌界大人物 2024-11-27 11:28:44 0

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#光刻机的出身#

X射线光刻技能的研究操持可谓年夜志勃勃,由于X射线的波长小于10纳米,是DUV的1/20,乃至更短。
如果研制成功,就能一举将光刻精度推进到10纳米以内。
但林本坚以为利用X射线进行光刻,在光源、材料等方面存在难以占领的技能难题,于是坚持采取DUV方案。
#芯片技能的发展# #芯片技能的进步#

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研发X射线光刻技能的主管也是全体光刻研发团队的领导,自然更重视X射线光刻技能的研发,X射线团队可谓军多将广。
而林本坚的DUV研究小组人数寥寥,不被领导看好。

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(图片来自网络侵删)

#芯片研发有多难# #芯片专家啦#

有一次,X射线光刻技能团队在光源方面取得了重大打破,光刻部门的卖力人开庆祝会,亲自给每位出席者颁发了一件纪念T恤,上面还印上了“X射线可用”的字样。
自然,林本坚也从这位意得志满的卖力人手中接过了一件,不过回到办公室后,他用白板笔在这行字后面加了几个字,将后者变成了“X射线可用——在牙医诊所里”,并挂在了文件柜的显眼位置,途经他办公室的同事都会看上一眼。
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1992年,50岁的林本坚从IBM公司提前退休,创办了自己的公司Linnovation,他的客户之一正是台积电公司。
2000年,他接到了台积电公司副总蒋尚义的约请,加入了台积电公司。

在台积电公司,下属们都喜好称林本坚为“Burn爷爷”,“Burn”是他的英文名。
这位“Burn爷爷”的记性很好,对数字尤其记得牢:他14岁时第一台相机的光圈是f/16和f/11,快门是1/75秒和1/25秒,高三时学校食堂每月供应一次的红烧肉的大小是9×7×0.5厘米。
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当时,光刻技能卡在了157纳米,这个波长的紫外光在空气中会被氧分子接管,无法完成光刻。
只管人们考试测验了各种方法战胜困难,例如在光刻机中注入氮气,并研制基于二氟化钙晶体的镜头,但奏效不大。
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