什么是MEMS芯片？什么是MEMS传感器？-道合顺大年夜数据infinigo_芯片_暗记

MEMS被认为是21世纪最有出息的技能之一，如果半导体微制造被视为第一次微制造革命，MEMS则是第二次革命。
通过结合硅基微电子技能和微机器加工技能，MEMS具有革命性的工业和消费产品的潜力。

在此须要划重点的是，MEMS是一种制造技能，诸如杠杆、齿轮、活塞、发动机乃至蒸汽机都是由MEMS制造的。
事实上，MEMS这个词实际上有一定误导，由于许多微机器设备在任何意义上都不是机器的。
然而，MEMS又不仅仅是关于机器部件的微型化或用硅制造东西，它是是一种利用批量制造技能设计、创建繁芜机器设备和系统及其集成电子设备的范例。
再具化一点讲，集成电路的设计是为了利用硅的电学特性，而MEMS则利用硅的机器特性，或者说利用硅的电学和机器特性。

那MEMS传感器又是什么?MEMS传感器便是把一颗MEMS芯片和一颗专用集成电路芯片(ASIC芯片)封装在一块后形成的器件。
左图是一张范例的MEMS麦克风内部布局的放大图，图内右边的芯片是MEMS芯片，左边的芯片是ASIC芯片。
右图是封装后的MEMS麦克风。

MEMS传感器里最主要的便是MEMS芯片。
MEMS芯片可以把外界的物理、化学旗子暗记转换成电旗子暗记，而ASIC是把MEMS芯片产生的电旗子暗记进一步处理和传输到下一级电路。
没有MEMS芯片，MEMS传感器便是一个没有灵魂的空壳。

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