热式气体流量传感器是基于流体传热学事理的一类传感器，利用 MEMS 热式事理对管路气体介质进行流量监测。
流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称分布在加热电阻的上、下贱，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。
加热电阻对热偶堆的热结进行加热，热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压。当流体静止时，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的； 当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜，加热电阻两侧对称位置的温度不再相同，温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定 。
由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可以直接测出流体质量流量。
热式气体流量传感器特点及运用
热式气体流量传感器利用比较大略的布局来准确地丈量气体的质量流量，具有构造大略、压损小、量程范围宽等优点，在工业过程掌握、医疗设备、便携式仪器、环境监测设备等领域有着广泛的运用。
热式气体流量传感器选型
热式气体流量传感器是一种广泛运用于气体流量丈量领域的设备，具有精度高、稳定性好、相应速率快等优点。在选型时，须要根据实际运用处景、气体性子等方面进行综合考虑。
不同的运用处景对气体流量传感器的需求不同。例如，在工业生产过程中，须要对气体流量进行精确掌握，以确保生产过程的稳定性和产品质量；而在环保监测领域，须要丈量各种气体污染物排放量，以评估环境污染程度。因此，在选型时，须要明确实际运用处景，以便选择得当的传感器。其次，我们须要考虑气体性子。不同的气体具有不同的物理性子和化学性子，对传感器的丈量精度和稳定性都会产生影响。例如，有些气体具有堕落性，会对传感器造成危害；有些气体密度较小，随意马虎在管道中产生涡流和紊流，影响丈量精度。因此，在选型时须要充分理解气体性子，以便选择适宜的气体流量传感器。
炜盛科技流量传感器是基于前辈的MEMS硅工艺制成的热式质量流量传感器，具有功耗低、体积小、无需稳压补偿、抗冲击、稳定可靠等特点，为医疗、仪器、自动化、燃气计量等领域的气体流量检测供应传感器办理方案。
MEMS热式气体流量传感器FR系列
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