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传统封装工艺流程简介_芯片_塑封

admin 2024-12-19 23:35:13 0

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1,晶圆减薄(Grind)

随着晶圆直径的增加,其厚度也相应增加。
4inch晶圆一样平常厚度为525um,6寸为625um,8寸775um,12寸925um。
过厚的芯片不仅不利于散热,还会导致封装尺寸过大。
因此须要将晶圆减薄到50-200um。

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晶圆减薄技能紧张有:机器切削,化学机器抛光(cmp),湿法刻蚀,干法刻蚀等。

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(图片来自网络侵删)

2,划片切割(Dicing)

它将一个大的晶圆切割成许多单独的小块,每个小块是一个“芯片”(Chip,die),这些芯片是单个集成电路的基本单位。
目前比较常见的划片办法有三种:刀片切割,激光切割,等离子切割等。

刀片切割:利用金刚石刀片进行物理切割。
这是一种本钱效益较高的传统方法,但会对芯片边缘造成机器应力,而产生崩边(正崩或背崩)。

激光切割:利用高强度的激光精确切割晶圆。
这种方法特殊适用于处理薄晶圆或须要极高精度的场景。

等离子切割:利用等离子体束进行切割,适用于繁芜或敏感的集成电路。

3,芯片贴装(Die Attach)

它指的是将一粒粒的芯片固定在基板或框架上。
贴装一样平常有三种方法:共晶法,焊接法,导电胶粘贴法等。

共晶法:利用Au和Si可形成共晶体的特点进行共晶熔接。

焊接法:用Pb-Sn合金薄膜作为中间层,在保护气氛中加热,进行熔融焊接。

导电胶粘贴法:将含有银粉的环氧树脂(银浆)涂敷在框架或基板上,再将芯片放置其上,固化后可以将芯片牢牢粘接。

4,打线键合(WB wire bonding)

紧张是用超细的金属线(常日是金或铝线)将芯片上的电极连接到封装的框架或基板上。
打线键合包括两种紧张方法——热压键合和超声键合。
不过在实际的生产中,会将热压与超声结合在一起利用。

5,塑封(Molding)

塑封是为了保护和隔离芯片、金属引线、框架的内腿以及其他易受损的部分。
塑封是将工件和树脂安装在模具中,加热模具,使树脂液化充满模具,降温保持一定韶光后,树脂凝集为固态即可取出。
取出后的固态树脂没有经由完备固化,还要在烘箱中进行完备的固化处理。

6,切筋(trimming)

引线框架的各腿是用筋连接着的,起支撑浸染,塑封固化后,须要将其连筋切掉。

7,打标(marking)

在塑封的环氧树脂上打上产品型号,牌号,批次等信息。

8,电镀外脚(Plating)

对袒露在外的引线框架外脚电镀Sn-Pb合金,这样不仅可以提高外脚的抗氧化性,还有利于后续与印刷电路板的焊接。

9,成型

对外脚进行冲压波折,并切掉多余的部分,形成一粒粒的封装产品。

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