集成电路无尘车间从送风系统办法划分一样平常也有三种形式：即集中送风系统、隧道系统、FFU系统，如图所示：
集成电路无尘车间这三种送风系统各有特点，从不同的角度得出不同的结论。因此，我们不能大略地说是好是坏。送风系统模式的采取紧张取决于业主和设计方关注的方面。然而，近年来，FFU系统的运用越来越广泛，尤其是在亚太地区。海内也不例外。除习气、履历等非技能成分外，缘故原由如下：
1. 灵巧性：在这三个别系中，FFU系统的灵巧性是最好的，特殊适宜当今集成电路生产技能的快速发展，由于随着生产技能的发展，对清洁度的哀求更严格。隧道系统很难说是灵巧的，隧道系统是一个以操作区为送风区，设备区为回风区的空气循环系统。集中送风系统具有一定的灵巧性，但清洁系统改造时必须停机停产。如果我们想提高局部区域清洁度，除了在无尘车间顶部增加HEPA/ULPA过滤器外，还须要增加循环机组，这使得改造难度大，对生产的影响更大。利用FFU系统，可以方便地在局部增加FFU的数量或移动FFU的位置，而且可以在一直产的情形下进行，对生产影响很小。
2. 调控性：与集中送风系统比较，FFU系统各区域的送风交叉点相对较小，可以实现高精度的温湿度掌握。随着电机和网络掌握技能的发展，FFU易于实现单控，且每个FFU的出风速率在一定范围内险些可以任意调节，很随意马虎办理大跨度无尘车间远近端气流不屈均的问题。此外，FFU还可以根据实际利用须要停开或者少开启一部分。
3. 可靠性：采取集中送风系统，如果有一台送风机组涌现故障，除非能立即投入备用机组，否则不能担保全体系统的清洁度；一旦隧道系统的循环机组停滞运行，就不能担保循环机组所包袱清洁区的清洁度、温度和湿度，也不能担保全体系统的清洁度。而FFU系统这方面的风险就很小，纵然一台FFU发生故障，其影响也很小。随着网络监控技能的发展， FFU系统因数量多给掩护带来的不便也得到了改进。
4. 气密性与空间利用：FFU系统由于风机直接设在事情区上方，因此事情区相对付回风道及上静压箱为正压，事情区以外污染物极少因泄露进入上作区：相反的，集中送风系统和隧道系统事情区相对付上静压箱为较大的负压，因此泄露的风险性比FFU系统要高得多。其余集成电路无尘车间采取集中送风系统及隧道系统，上静压箱与周围环境的压差很大，极易发生空气泄露，因此对上静压箱的气密性哀求很高，基本上不许可管线进人。而FFU系统的上静压箱相对付周围环境只是微正压，上静压箱内可以支配或穿越诸如排风和排烟等管道，使空间得到合理利用。
好的无尘车间设计，不仅能节约能源，降落运行本钱，减少人力投入，而且为生产供应了安全可靠的保障。在三种清洁系统中，FFU循环系统运行本钱最低，清洁度和安全性最高。因此，在集成电路无尘车间中，多采取FFU循环系统。清洁度哀求越高，温湿度掌握精度越高，清洁室的投资和运行本钱越高。因此，在大环境清洁度或温湿度哀求相对较低的情形下，将一些关键的工艺设备支配在较高清洁度或温湿度掌握区域内是集成电路制造清洁厂房的设计趋势。随着集成电路制造技能的不断升级，主流大型工厂已进入纳米时期。集成电路无尘车间设计、施工和节能创新也须要不断完善，为前辈工艺产品的生产供应保障。
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