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专利择要显示,本发明供应了一种射频电源的校准装置,属于校准装置技能领域。本发明包括电压采样电路,用于采集射频电源的输出电压值,并输出稳定的电流旗子暗记;数据采集电路,用于吸收稳定的电流旗子暗记,并转换为电压旗子暗记后进行增益调节;温控电路,掌握电压采样电路事情的恒温状态;掌握器,用于吸收增益后的输出电压值和温控电路输出的温度旗子暗记;掌握器将吸收的增益后的输出电压值与理论值进行比较,不断地调节被测射频电源的电路,使输出电压值与理论值保持同等;掌握器将吸收的温度旗子暗记与设定值进行比较,不断地调节坚持电压采样电路事情的恒温状态。本发明实现了射频电源输出电压的线性和精度的准确性,担保了同等性,节省了硬件的本钱。
本文源自金融界

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