随着半导系统编制程技能的飞速发展，芯片线宽已经进入纳米级。半导体晶圆关键尺寸眇小化，对电子半导体清洁厂房这类分外建筑的生产环境的清洁度也提出了更高的哀求，气态分子污染物（AMC）已成为影响产品制程产率的紧张关键成分之一。
对微电子制造业来说，空气环境中产生的有害物质危害生产车间和产品，并因此引起成品良率降落的化学物质，称为分子级污染物或气态分子污染物(AMC)。
分子污染物大小比颗粒污染物小得多， 相差几个数量级，高效过滤器(HEPA) 或者超高效过滤器(ULPA) 无法去除分子污染物(AMC)。常见的气态分子污染物(AMC)分类：
气态分子污染物(AMC)分类
气态分子污染物（AMC）对电子半导系统编制程的影响紧张表现为表面分子污染，这是由气态分子和特定表面浸染而形成非常薄的化学膜，化学膜常日改变产品表面的物理、电子、化学和光学特性，紧张表现在以下几个方面：
导致光阻层表面硬化T型毛病硼磷掺杂不受控导致不能掌握蚀刻速率，邻苯二甲酸二丁酯（DOP）易附着于晶片表面形成碳化硅SiC引起阈值电压改变，硼元素、三氟化硼等气态污染物，会引起晶片表面污染污染物气体如氟化氢、氯化氢、硫酸、磷酸、氯气、氮氧化合物等，引起晶片表面污染，导致金属化制程中的金属附着力低落污染气体导致芯片内连接导线因堕落而报废造成掩模及步进设备上光学镜面模糊导致举动步伐和设备堕落而停机晶圆表面污染的种类及其对元器件的影响
案例：亿天净化为杭州中欣晶圆供应AMC掌握办理方案
杭州中欣晶圆半导体株式会社对AMC掌握的需求
杭州中欣晶圆半导体株式会社紧张从事高品质集成电路用半导体晶圆片的研发与生产制造。实现了从半导体单晶硅棒拉制到100mm~300mm半导体晶圆片加工的完全生产。拥有9条8英寸生产线、2条技能成熟的12英寸生产线，具备年产能240万片/300mm、480万片/200mm、480万片/150mm，生产车间对掌握质量哀求非常高，为了确保产品生产良率达到99.99%，半导体生产车间对空气清洁技能提出了更高哀求。
杭州中欣晶圆半导体株式会社
亿天净化供应“拔除”气态分子污染物（AMC）的办理方案
针对中欣晶圆对空气清洁度的需求，亿天净化通过采样、现场勘测、技能诊断，评估清洁室内、外部空气质量，确认气态分子污染物（AMC）紧张身分及浓度，针对性提出最匹配实际环境需求的办理方案，选用了除酸化学过滤器、除碱化学过滤器等平板型化学过滤器，实现了对气态分子污染物（AMC）的掌握。在担保能耗降落的同时，达到了最佳空气净化效果。
FFU化学过滤器现场安装示意图
产品科普
平板型化学过滤器是一种高效去除空气中颗粒和气态分子污染物的复合式过滤器，广泛运用在AMC污染堕落掌握工程中，紧张搭配风机过滤机组（FFU）利用，也可作为送风口或回风口的化学过滤组件，复合式的构造设计使滤材充分发挥过滤功能，根据现场环境的AMC种类和浓度，定制化设计过滤材料和框架材料，让空气更清洁。
平板型化学过滤器
产品上风
高效过率，针对不同污染物定制配方；低阻力，无气体旁通，无递增压损，节能环保；无灰尘开释，具有一定的粉尘过滤效果；利用寿命长，通过化学吸附法去除气态污染物，气态污染物与滤料发生化学反应，有效杜绝空气环境的二次污染，永久去除气态污染物。采取化学反应技能
化学反应技能事理
污染物同吸附剂中的化学物质发生化学反应，从而达到去除污染物的目的。该过程非常分外，采取化学反应技能，过程速率很快，并且是不可逆的，可以将有毒有害气体通过化学反应氧化为无害的固体。
认证完好
产品经由多种第三方专业检测机构认证，安全 无毒 无害 不产生二次污染。具备SGS RoHS EU CE等多种检测报告。检测认证
质量掌握
亿天净化质量部门，根据规格和制造工艺对质量进行把控，从开拓到运行，从原材料到成品 多环节掌握检讨，多种检测设备。
亿天净化化学过滤器检测平台专门针对化学过滤器过滤性能的检测，通过仿照受控污染环境内过滤器过滤装置，检测过滤器在不同污染物浓度环境下过滤效率、压阻、容污量、持久性等性能的变革，帮助企业设计开拓出高效改进环境空气质量的过滤产品。符合标准ISO10121-2、T/CRAA438.2。
化学过滤器全尺寸检测台
经检测合格的化学过滤器
