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芯片的原材料居然是沙子那么沙子是若何变成芯片的呢?_芯片_光刻

南宫静远 2024-08-29 07:41:55 0

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可以说,芯片已经是我们生活中不可或缺的电子元器件了。
但是你能想想这么一款精密器件,它居然是由沙子制成的吗?

第一步,硅提炼及提纯

芯片是由单质硅制成的,但自然界中并没有天然的单质硅,大都以硅的氧化物(二氧化硅、SiO2)形态存在,二氧化硅恰好是沙子的紧张身分。

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芯片所利用的沙子并非我们日常在海滩、河道、建筑工地等所见的那种,由于这种沙子含有赤色、黄色、橙色的杂质,提纯难度更大。

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(图片来自网络侵删)

芯片利用的沙子叫硅砂,这种沙子险些没有其他的杂质,便是纯净的二氧化硅。
那么如何把二氧化硅变成单质硅呢?

工业上常常用碳在高温下还原二氧化硅,然后制得含有少量杂质的粗贵。

化学式:SiO2+2C==高温==Si+2CO↑

我们将二氧化硅和碳充分稠浊,然后放入电弧炉中,加热到2000℃以上,在高温下,碳会与二氧化硅发生反应,炉膛底部会留下单质硅,而CO变为气体排出。

之后再用氧气对硅进行处理,把钙、铝等杂质去除,得到纯度为99%的单质硅。
这个纯度远达不到制造芯片的标准。

为了进一步提纯单质硅,我们须要将其研磨成粉状,然后加入氯化氢,放入流化床反应器中,加热到300℃让其充分反应,天生三氯硅烷,同时去除铁、硼、磷等杂质。

三氯硅烷连续加热到1000℃,然后与氢气反应,终极形成纯度为99.999999%的单质硅,这个级别的硅就可以用来制造芯片了。

但此时的单质硅只能算多晶硅,由数量浩瀚的小晶体或者微晶构成,这些小晶体之间的连接处有晶界,晶界会导致电子旗子暗记混乱,因此必须变动硅的构造,使其变成单晶硅。

第二步单晶硅成长

多晶硅变单晶硅的过程叫做直拉单晶技能,又称长晶。
它的工艺流程为:熔化一→缩颈成长一→放肩成长一→等径成长一→尾部成长。

熔化:大略来说便是将多晶硅加入石英锅内,加热到熔点以上(1420℃),全体工程不能打仗空气,因此长晶炉一样平常都是抽成真空,然后加入氩气。

缩颈成长:将眇小的晶粒放入熔化的硅熔体中,由于温度差导致打仗面产生热应力,形成位错,此时快速提升,使长出的籽晶直径减小到46mm旁边。

而放肩成长便是将晶体的直径放大至所需的尺寸,该过程须要把稳降温、减小拉速。

等径生产,便是保持晶体直径不变,持续拉长的过程。

尾部成长与放肩成长过程相反,当直径缩小至一个点时,晶棒就会与硅熔体分离。
全体长晶过程结束。
多晶硅也就变成了单晶硅棒,也便是我们常说的硅锭。

目前硅锭的直径大都为150mm、300mm、450mm三种,用于制造8英寸、12英寸的晶圆。

第三步制成晶圆

硅晶棒是无法直接进行刻蚀的,它须要经由割断、滚磨、切片、倒角、抛光、激光刻等程序后,才能成为芯片制造的基本材料——“晶圆”。

晶圆的切片方法有传统的机器切割(划片)和激光切割(切片)。

机器切割是直接将钻石锯片浸染在晶圆表面,产生应力,使其分割。
切割宽度一样平常为25-35μm之间,速率为8-10mm/s,切割慢,不同规格须要不同的刀具。

此外,机器切割随意马虎造成晶圆崩边、破损等征象。

而旋转砂轮式切割虽然可以降落晶圆破损,但须要去离子水冷却,又导致本钱较高。
于是发明了新型激光切割。

激光切割不会产生机器应力,大大地担保了晶圆的质量。

此外激光的精确度更高,可以达到亚微米级别,非常适宜精密加工,在强大的脉冲能量下,硅材料直接汽化产生均匀的沟道,实现切割。

激光切割速率更快,且不须要冷却水,更不会涌现磨损刀具的问题,可以24小时不间断作业。

激光对晶圆有更好的兼容性和通用性。

切割后的晶圆再通过氧化、化学气相沉积等方法进行镀膜,使表面形成一层SiO2薄膜,并在SiO2薄膜中进行N型、P型掺杂。

是不是很多网友认为晶圆就像一张DVD光盘,实在并非如此,晶圆不是标准的圆形,一样平常都会切出一个边,当作类似三角形的“底”,成为“有底的圆”。

芯片制造

芯片制造是最繁芜的工艺,仅仅大略地走一遍流程就须要20多道,而真正的要制造一款手机芯片,须要几百道,乃至是几千道工序。

这里只讲一讲紧张的工序。

芯片制造的紧张流程为:洗濯、预烘、涂胶、前烘、对准、曝光、显影、竖膜、刻蚀、去胶。

1、洗濯

洗濯的目的便是去除金属离子,确保晶圆无污染、无针孔、无毛病。
详细步骤如下:

1、利用强氧化剂洗濯液,使晶圆表面的金属离子溶解在洗濯液中;

2、用H+去除残留在晶圆表面的金属离子;

3、用去离子水洗濯晶圆,彻底打消洗濯液。

2、预烘

晶圆洗濯完毕后,要进行烘干,确保无残留的洗濯液,更有利于底胶的涂覆,并把晶圆温度保持在80℃旁边。

3、涂底胶

为了增强光刻胶与晶圆的粘附性,须要涂一层底胶,底胶涂覆的时候须要环境温度保持在100℃旁边。

4、光刻胶涂覆

光刻胶是感光树脂、增感剂和溶剂组成的稠浊液体,被紫外光、电子束、X射线照射后,溶解度会发生变革。

方法:晶圆在1000℃的高温中进行氧化,然后用涂胶机将光刻胶均匀地涂在晶圆表面。

5、前烘

前烘的目的是将光刻胶的溶剂蒸发掉,使光刻胶均匀地粘附在晶圆表面,而且烘干后的光刻胶涂层更薄。

6、对准

对准操作时,对精度哀求极高,这绝对是对技能和设备的重大磨练。

哀求对准精度为最细的线宽1/10旁边,同时精度随着芯片的制程变革。
例如:5nm工艺的芯片对准精度就达到了1nm。

7、曝光

曝光就类似于摄影机按快门,当紫外光对涂有光刻胶的晶圆照射时,光刻胶就发生了化学反应。

正胶曝光部分在显影液中被溶解,没有曝光的胶层留下;负胶的曝光部分在显影液中不用融,而没有曝光的胶层却被溶解掉。

8、显影

被曝光后的晶圆放入显影液中,感光区的光刻胶就会溶解,这一步完成后,晶圆上的电路图就显现出来了。

9、竖模

显影工序后,形成了无光刻胶的显性图形和有光刻胶的隐性图形,这个图形组合可以作为下一步的模版。

10、刻蚀

刻蚀可以选择性地移除晶圆上的特定部分,并对边缘轮廓修整或表面清洁等。
刻蚀工艺紧张有两大类:湿法刻蚀和干法刻蚀。

刻蚀对付器件的电学性能十分主要。
如果刻蚀过程中涌现失落误,将造成难以规复的硅片报废。

11、去胶

以上工艺全部结束后,要把光刻胶去除,采取等离子、分外溶剂、等方法。

这仅仅是一次操作,实际上制造芯片时,须要不断地重复以上操作。
每加入一个层级就要进行一次光刻,终极形成一个多层的立体构造型的芯片。

为了防止芯片的刮损,同时更方面的与其它元器件连接,还要对芯片进行封装。

末了封装

手机芯片制造完成后,只有指甲盖大小,并且非常薄,稍有不慎就会刮伤破坏,导致前面做的一系列事情子虚乌有。

而芯片封装便是给芯片安装一个外壳,可以有效地固定、保护、密封、连接芯片。

芯片封装后的金属接脚切实其实便是与外界沟通的桥梁,这些桥梁将芯片与电路板有效的连接起来,让芯片更安全、高效的发挥浸染。

封装流程紧张有:划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋成型。

常见的封装办法有两种: DIP 封装、 BGA 封装

DIP 封装:

DIP封装即双排直立式封装,采取此封装的 IC 芯片在双排脚下,看起来会像条玄色蜈蚣,让人印象深刻,此封装法为最早采取的 IC 封装技能。

优点:本钱低廉、适宜小型且不须要接太多线的芯片。

缺陷:散热效果较差,无法知足现行高速芯片的哀求。

BGA 封装:

以金线将芯片接到金属接脚,

优点:体积小、容纳更多的接脚;

缺陷:工艺繁芜、本钱较高。

封装完成后,再进行功能、电气、安全、环境、机器等方面的测试,就大功告成了。

写到末了

沙子变为高端芯片是一个极其繁芜而精密的过程,目前没有任何一个国家可以单独完成这项任务。

这项过程不仅须要大量的专业技能,也须要很多精密的设备,和性能不同的化学试剂。
这对每个国家都是磨练。

我国在该领域起步晚,底子薄,但发展速率非常快,相信假以时日,在科研职员的努力下定能独立打造出高端芯片。

我是科技铭程,欢迎共同谈论!

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